[发明专利]MEMS麦克风及其形成方法

说明书

本发明提供一种MEMS麦克风及其形成方法，所述MEMS麦克风包括：背极膜，所述背极膜包括第一面和第二面，所述背极膜包括功能区和包围所述功能区的支撑区；位于所述背极膜第一面上的振片膜，所述振片膜的机械强度大于所述背极膜的机械强度，所述功能区振片膜中具有振片孔，所述振片孔贯穿所述振片膜；位于所述支撑区的背极膜和振片膜之间的支撑件。所述振片膜的机械强度大于所述背极膜的机械强度，从而所述振片膜能够承受较大的应力，所述MEMS麦克风在使用过程中，不容易引起振片膜的断裂，从而能够增加MEMS的寿命。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种MEMS麦克风及其形成方法。

背景技术

MEMS即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems)，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。

MEMS(微型机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，简单的说就是一个电容器集成在微硅晶片上。MEMS麦克风能够承受很高的回流焊温度，容易与CMOS器件及其它音频电路相集成，并具有低噪声性能，从而使其应用越来越广泛。

MEMS麦克风的组成一般是由MEMS微电容传感器、微集成转换电路、声腔、RF抗干扰电路这几个部分组成的。MEMS微电容极头包括接受声音的硅振膜和硅背极，硅振膜可以直接接收到音频信号，经过MEMS微电容传感器传输给微集成电路，微集成电路把高阻的音频电信号转换并放大成低阻的电信号，同时经RF抗噪电路滤波，输出与前置电路匹配的电信号，就完成了声电转换。通过对电信号的读取，从而实现对声音的识别。

现有技术形成的MEMS麦克风寿命较短。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种MEMS麦克风及其形成方法，能够延长MEMS麦克风的寿命。

为解决上述问题，本发明提供一种MEMS麦克风，包括：背极膜，所述背极膜包括相对的第一面和第二面，所述背极膜包括功能区和包围所述功能区的支撑区；位于所述背极膜第一面上的振片膜，所述振片膜的机械强度大于所述背极膜的机械强度，所述功能区振片膜中具有振片孔，所述振片孔贯穿所述振片膜，所述功能区振片膜与所述背极膜之间具有空隙；位于所述支撑区的背极膜和振片膜之间的支撑件。

可选的，所述振片膜的材料为石墨烯。

可选的，所述振片膜的厚度为90nm～110nm。

可选的，所述振片孔为圆孔，所述振片孔的直径大于0.2μm；相邻振片孔之间的间距为20μm～100μm。

可选的，所述背极膜功能区的第二面中具有背腔；所述背腔底部的背极膜中具有背极孔，所述背极孔贯穿所述背极膜。

相应的，本发明还提供一种MEMS麦克风的形成方法，包括：提供背极板，所述背极板包括相对的第一面和第二面，所述背极板包括功能区和包围所述功能区的支撑区；在所述背极板第一面上形成支撑层；在所述支撑层上形成振片膜，所述振片膜的机械强度大于背极板的机械强度，所述功能区振片膜中具有振片孔，所述振片孔贯穿所述振片膜；形成所述振片膜之后，对所述功能区背极板第二面进行减薄处理，使所述背极板形成背极膜；形成背极膜之后，去除所述功能区的支撑层，在所述支撑区的背极膜和振片膜之间形成支撑件。

可选的，所述振片膜的材料为石墨烯。

可选的，所述振片膜的厚度为90nm～110nm。

可选的，形成所述振片膜的步骤包括：在所述支撑层上形成初始振片膜；对所述初始振片膜进行第一图形化处理，形成振片膜和位于所述振片膜中的振片孔。