[发明专利]一种远场光学超分辨显微方法

权利要求书

1.一种远场光学超分辨显微方法，所述方法包括下列步骤：

S1、将样品放置在位移扫描平移台上，通过显微成像系统，找到待测样品所在区域，对于较为透明样品采用透射成像系统进行成像，对于不透明样品采用反射成像系统进行成像；

S2、网络分析仪的频率为f的信号经过信号放大器，输入到声光调制器，实现对激励激光的强度调制，激励激光的强度以相同频率变化；

S3、激励激光经第一透镜L1和第二透镜L2扩束后，由物镜聚焦打在样品上作为样品振动的激发光源；

S4、532nm的激光光源与632.8nm激光干涉测振仪发出的激光以重合的光路照射到样品上，并且采集样品反射回来的632.8nm的激光，进而对532nm的激发激光产生的样品表面微小结构振动进行检测，测量得到待测样品表面上微小结构的谐振频率、幅值、相位；

S5、位移扫描平移台对待测样品表面进行纳米精度的逐点扫描，每扫描一点，通过网络分析仪得到该位置微小结构的振动频率响应，包括幅值特性和相位特性；

S6、位移扫描平移台绘制出高分辨的空间位置、激励频率的振动谱和像图。

2.根据权利要求1所述的一种远场光学超分辨显微方法，其特征在于，所述透射成像系统包括：卤钨灯、第三透镜L3、聚光镜、物镜、辅助成像透镜、电荷耦合器件或者目镜。

3.根据权利要求1所述的一种远场光学超分辨显微方法，其特征在于，所述反射成像系统包括：汞灯、第四透镜L4、物镜、辅助成像透镜、电荷耦合器件或者目镜。

4.根据权利要求1所述的一种远场光学超分辨显微方法，其特征在于，所述激光干涉测振仪发出的632.8nm激光经过第一双色镜D1反射后，同532nm的激励激光光路汇合，经过完全重合的路径照射到样品上，样品反射回来的632.8nm激光回到激光干涉测振仪。

5.根据权利要求1所述的一种远场光学超分辨显微方法，其特征在于，所述振动谱和像图是以二维空间精细网格为X、Y坐标，以振动幅值为强度的二维伪彩色图像。

6.根据权利要求1至5任一所述的一种远场光学超分辨显微方法，其特征在于，所述位移扫描平移台采用二维亚纳米精度压电陶瓷位移扫描平移台。

7.根据权利要求1至5任一所述的一种远场光学超分辨显微方法，其特征在于，所述物镜采用高数值孔径物镜。