[发明专利]电介质薄膜和电子部件有效
| 申请号： | 201710169275.1 | 申请日： | 2017-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN107221429B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 城川真生子;政冈雷太郎;内山弘基;藤井祥平 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | H01G4/10 | 分类号： | H01G4/10;H01G4/33 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;沈央 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电介质 薄膜 电子 部件 | ||
【权利要求书】：
1.一种电介质薄膜，其特征在于，
所述电介质薄膜以MgO为主成分，
所述电介质薄膜由含有分别至少1个以上的由单晶构成的柱状结构A和由多晶构成的柱状结构B的柱状结构群构成，
在将所述电介质薄膜的垂直方向的截面中所述柱状结构A所占的面积记为CA，并且将所述柱状结构B所占的面积记为CB的情况下，所述CA与CB的关系为0.4≤CB/CA≤1.1，
所述柱状结构为在电介质薄膜整体上沿着基板表面的法线方向或±5°延伸，并且纵横比h/l满足17<(h/l)<40的结构。
2.如权利要求1所述的电介质薄膜，其特征在于，
所述柱状结构B至少存在2个以上，并且是具备至少1个以上的柱状结构B+的柱状结构，其中，所述柱状结构B+具有1个以上的三叉晶界，
所述柱状结构B+为柱状结构B所占的面积CB的50％以上。
3.一种电子部件，其特征在于，
具有权利要求1或2所述的电介质薄膜。
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