[发明专利]制造图像传感器的方法

权利要求书

1.一种制造一图像传感器的方法，包含：

提供一基板；

在该基板的一第一区域上形成一第一红外线滤光元件；

在该基板和该第一红外线滤光元件上沉积一第二红外线滤光元件，其中该沉积的第二红外线滤光元件覆盖该第一红外线滤光元件；以及

通过利用回蚀刻制作工艺降低该第二红外线滤光元件的高度至暴露出该第一红外线滤光元件，其中该降低的第二红外线滤光元件在该基板的一第二区域上且邻接该第一红外线滤光元件，

其中该第一红外线滤光元件是一白色滤光元件。

2.如权利要求1所述的方法，其中该降低的第二红外线滤光元件的高度等于或低于该第一红外线滤光元件的高度。

3.如权利要求1所述的方法，还包含：

在该第一红外线滤光元件和该降低的第二红外线滤光元件上形成一平坦层；

在该平坦层上形成一第三红外线滤光元件，其中该第三红外线滤光元件位于该第一红外线滤光元件的上方；以及

在该平坦层上形成一彩色滤光元件，其中该彩色滤光元件位于该降低的第二红外线滤光元件的上方。

4.如权利要求3所述的方法，其中该第三红外线滤光元件是一红外线通过滤光元件。

5.如权利要求3所述的方法，其中该彩色滤光元件是形成以具有红色光滤光部、蓝色光滤光部和绿色光滤光部。

6.如权利要求1所述的方法，其中该第一红外线滤光元件是一红外线通过滤光元件。

7.如权利要求1所述的方法，其中该第二红外线滤光元件是一红外线截止滤光元件。

8.如权利要求1所述的方法，其中该第一红外线滤光元件是形成以包含一光敏感性材料。

9.如权利要求1所述的方法，其中该基板是提供以在该第一区域中具有用以检测红外线光的一第一光二极管且在该第二区域中具有用以检测可见光的至少一第二光二极管。

10.一种制造一图像传感器的方法，包含：

提供一基板，其中该基板具有一第一区域和一第二区域；

在该基板上形成一平坦层；

在该平坦层上形成一第一红外线滤光元件，其中该第一红外线滤光元件位于该基板的第一区域的上方；

在该平坦层上形成一彩色滤光元件，其中该彩色滤光元件位于该基板的第二区域的上方；

在该第一红外线滤光元件上形成一第二红外线滤光元件；

在该第二红外线滤光元件和该彩色滤光元件上沉积一第三红外线滤光元件，其中该沉积的第三红外线滤光元件覆盖该第二红外线滤光元件；以及

降低该第三红外线滤光元件的高度至暴露出该第二红外线滤光元件，其中该降低的第三红外线滤光元件在该基板的第二区域上方且邻接该第二红外线滤光元件，

其中该第二红外线滤光元件是一白色滤光元件。

11.如权利要求10所述的方法，其中该降低的第三红外线滤光元件的高度等于或低于该第二红外线滤光元件的高度。

12.如权利要求10所述的方法，其中该第一红外线滤光元件是一红外线通过滤光元件。

13.如权利要求10所述的方法，其中该第二红外线滤光元件是一红外线通过滤光元件。

14.如权利要求10所述的方法，其中该第三红外线滤光元件是一红外线截止滤光元件。

15.如权利要求10所述的方法，其中该第二红外线滤光元件是形成以包含一光敏感性材料。

16.如权利要求10所述的方法，其中该彩色滤光元件是形成以具有红色光滤光部、蓝色光滤光部和绿色光滤光部。