[发明专利]一种垂直固定探针棒的联接结构和探针棒固定方法

说明书

本发明公开了一种垂直固定探针棒的联接结构和探针棒固定方法，它包括导电板（5）、磁铁（18）吸附在导电板（5）的上方，导电板（5）与上调节架（4）联接，导电板（5）的下表面为平面，导电胶（19）涂在导电板（5）的下表面上；第一步：制作一端尖长探针棒；第二步：制作带磁性一端尖长探针棒；第三步：在导电板的下表面上均匀涂导电胶；第四步：在导电板的下表面上垂直固定带磁性一端尖长探针棒；解决了现有技术固定探针棒的联接结构难以实现短探针棒垂直，需要借助仪器，通过上调节架或固定探针棒的联接结构调整探针轴线的垂直度，调整探针轴线垂直度较困难；探针轴线不垂直影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量。

技术领域

本发明涉及制作扫描隧道显微镜探针的设备，具体涉及一种垂直固定探针棒的联接结构和探针棒固定方法。

背景技术

制作扫描隧道显微镜探针的普通装置(见图1)包括支架、下调节架、下调节托盘；上调节架、导电板、探针夹、电池、导线、导电环和烧杯，其中，导电板和探针夹组成固定探针棒的联接结构；下调节架和上调节架均与支架连接，导电板与上调节架联接，探针夹与导电板联接；导电环在烧杯中，不锈钢的导电环的中心有孔，导电环固定在下调节托盘上，下调节托盘与下调节架联接；电池的正、负极通过导线分别导电板和导电环连接。

用制作扫描隧道显微镜探针的普通装置制作扫描隧道显微镜的探针时，短探针棒的上端通过探针夹固定在导电板上，烧杯中有NaOH的水溶液，短探针棒的下端伸入NaOH的水溶液中并穿过导电环上的孔，短探针棒为0.1〜1.5mm直径的钨丝，导电环在NaOH的水溶液中且在NaOH的水溶液的液面附近；短探针棒经电解后，导电环孔中的钨丝变尖，短探针棒变为一端尖短探针，一端尖短探针即为用制作扫描隧道显微镜探针的普通装置制得的扫描隧道显微镜的探针。

在制作扫描隧道显微镜探针的普通装置中，固定探针棒的联接结构难以实现短探针棒垂直，一般需要借助仪器，通过上调节架或固定探针棒的联接结构调整探针轴线的垂直度，且调整探针轴线的垂直度较困难；探针轴线不垂直，影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量。

发明内容：

本发明要解决的技术问题是：提供一种垂直固定探针棒的联接结构和探针棒固定方法，用于制作扫描隧道显微镜探针的装置中垂直固定探针棒，提高探针轴线的垂直度。

本发明技术方案：

一种垂直固定探针棒的联接结构，它包括导电板、磁铁和导电胶，磁铁吸附在导电板的上方，导电板与上调节架联接，导电板的下表面为平面，导电胶涂在导电板的下表面上。

带磁性一端尖长探针棒的针尖吸附在导电板的下表面，带磁性一端尖长探针棒的针尖周围有导电胶；在针尖处的表面有磁性材料，磁性材料的高度a为制作探针用的钨丝直径的1〜3倍。

导电胶的高度小于带磁性一端尖长探针棒的针尖的圆锥高度。

一种垂直固定探针棒的联接结构的垂直固定探针棒的方法，它包括：

第一步：制作一端尖长探针棒；

第二步：制作带磁性一端尖长探针棒；

第三步：在导电板的下表面上均匀涂导电胶；

第四步：在导电板的下表面上垂直固定带磁性一端尖长探针棒。

制作一端尖长探针棒的方法为：取一根直的长探针棒，长探针棒的材料与要制作的扫描隧道显微镜的探针的材料相同，长探针棒的直径与要制作的扫描隧道显微镜的探针的直径相同，长探针棒的长度比满足后继制作一端尖短探针需要的最短长度多1〜5mm，将长探针棒安装在制作扫描隧道显微镜探针的普通装置上制作一端尖长探针棒 。

制作带磁性一端尖长探针棒的方法为：用电镀的方法将磁性材料镀在一端尖长探针棒的针尖处，再对镀在针尖处的磁性材料磁化，得带磁性一端尖长探针棒。