[发明专利]一种垂直固定探针棒的联接结构和探针棒固定方法

权利要求书

1.一种垂直固定探针棒的联接结构垂直固定探针棒的方法，所述联接结构包括导电板（5）、其特征在于：磁铁（18）吸附在导电板（5）的上方，导电板（5）与上调节架（4）联接，导电板（5）的下表面为平面，导电胶（19）涂在导电板（5）的下表面上；带磁性一端尖长探针棒（17）的针尖吸附在导电板（5）的下表面，带磁性一端尖长探针棒（17）的针尖周围有导电胶（19）；在针尖处的表面有磁性材料，磁性材料的高度a为制作探针用的钨丝直径的1〜3倍；所述垂直固定探针棒的方法包括：

第一步：制作一端尖长探针棒；

第二步：制作带磁性一端尖长探针棒；

第三步：在导电板的下表面上均匀涂导电胶；

第四步：在导电板的下表面上垂直固定带磁性一端尖长探针棒；

在导电板的下表面上垂直固定带磁性一端尖长探针棒的方法为：将带磁性一端尖长探针棒（17）的针尖插入导电胶（19）并与导电板（5）的下表面接触，待带磁性一端尖长探针棒（17）的探针轴线（8）垂直后，固化导电胶（19），之后，在带磁性一端尖长探针棒（17）的针尖处增加导电胶（19）并逐次固化。

2.根据权利要求1所述的一种垂直固定探针棒的联接结构垂直固定探针棒的方法，其特征在于：导电胶（19）的高度小于带磁性一端尖长探针棒（17）的针尖的圆锥高度。

3.根据权利要求1所述的一种垂直固定探针棒的联接结构垂直固定探针棒的方法，其特征在于：制作一端尖长探针棒的方法为：取一根直的长探针棒（15），长探针棒（15）的材料与要制作的扫描隧道显微镜的探针的材料相同，长探针棒（15）的直径与要制作的扫描隧道显微镜的探针的直径相同，长探针棒（15）的长度比满足后继制作一端尖短探针（14）需要的最短长度多1〜5mm，将长探针棒（15）安装在制作扫描隧道显微镜探针的普通装置上制作一端尖长探针棒 （16）。

4.根据权利要求1所述的一种垂直固定探针棒的联接结构垂直固定探针棒的方法，其特征在于：制作带磁性一端尖长探针棒的方法为：用电镀的方法将磁性材料镀在一端尖长探针棒（16）的针尖处，再对镀在针尖处的磁性材料磁化，得带磁性一端尖长探针棒（17）。

5.根据权利要求1所述的一种垂直固定探针棒的联接结构垂直固定探针棒的方法，其特征在于：在导电板的下表面上均匀涂导电胶的方法为：将导电胶（19）均匀涂在导电板（5）的下表面上，且导电胶（19）的高度小于带磁性一端尖长探针棒（17）的针尖的圆锥高度。