[发明专利]实现激光直接成像图形均匀性的方法

说明书

本发明涉及一种方法，尤其是一种实现激光直接成像图形均匀性的方法，属于激光直接成像的技术领域。本发明对数字微镜装置DMD一行像素点进行切分，得到若干等分区域，每个等分区域具有一个控制参数，在利用数字微镜装置DMD进行曝光时，测量整个曝光图形的线宽以及每个等分区域对应图形的线宽，从而能得到图形目标线宽以及补偿调整值，FPGA根据图形目标线宽以及补偿调整值，调整相应等分区域的控制参数，从而使得数字微镜装置DMD再次扫描曝光得到整个曝光图形的线宽与图形目标线宽相一致，安全可靠。

技术领域

本发明涉及一种方法，尤其是一种实现激光直接成像图形均匀性的方法，属于激光直接成像的技术领域。

背景技术

FPGA采用了逻辑单元阵列LCA（Logic Cell Array）这样一个概念，内部包括可配置逻辑模块CLB（Configurable Logic Block）、输出输入模块IOB（Input Output Block）和内部连线（Interconnect）三个部分。现场可编程门阵列（FPGA）是可编程器件，与传统逻辑电路和门阵列（如PAL，GAL及CPLD器件）相比，FPGA具有不同的结构，FPGA利用小型查找表（16×1RAM）来实现组合逻辑，每个查找表连接到一个D触发器的输入端，触发器再来驱动其他逻辑电路或驱动I/O，由此构成了既可实现组合逻辑功能，又可实现时序逻辑功能的基本逻辑单元模块，这些模块间利用金属连线互相连接或连接到I/O模块。FPGA的逻辑是通过向内部静态存储单元加载编程数据来实现的，存储在存储器单元中的值决定了逻辑单元的逻辑功能以及各模块之间或模块与I/O间的联接方式，并最终决定了FPGA所能实现的功能，FPGA允许无限次的编程。

目前，印刷电路板（PCB）图像转移设备有两大类：传统的投影式曝光设备和激光直接成像设备（LDI）。对传统的投影式曝光设备，图形已经印制在菲林底片上，通过投影菲林底片将图形转移到感光干膜上；对激光直写式曝光设备，激光束将曝光图形通过空间光调制器直接扫描成像在感光干膜上。

激光直写式曝光设备相对于使用传统菲林底片的方法，在转移图形方面提供了许多益处。激光直写式曝光设备使用空间光调制器（SLM，Special Light Modulator）来代替菲林底片。空间光调制器包括数字微镜装置（DMD）或液晶显示器（LCD），空间光调制器包括一个可独立寻址和控制的像素阵列，每个像素可以对透射、反射或衍射的光线产生包括相位、灰度方向或开关状态的调制。空间光调制器对每个像素灰度的调制实质上是对各像素单元的输出光强度的调制。目前，空间光调制器（如DMD、LCD等）可以实现256级的灰度调制。

当前印制电路板公司生产中，为了较准确的控制对液态感光线路油墨、液态感光防焊油墨的曝光条件，通常使用美国STOUFFER 21阶曝光尺进行测试。激光直写式曝光设备使用空间光调制器（SLM）进行灰度调制，可以按不同灰阶实现STOUFFER 21阶曝光尺功能，为客户准确寻找曝光条件提供方便、快捷的方法，并节约成本。

随着近几年集成电路行业景气的回升，大多数集成电路代工厂均期望得到扩产计划，希望通过产能扩充进一步提升规模效益，提升现有设备的产能是企业取得利润的关键性因素，且如何提升现有设备的产能与提升生产产品的良率是企业永不停止研究的课题，相同价格的设备如果通过某种技术实现产能翻倍将是集成电路生产加工企业梦寐以求的事情。但现有的激光直接成像设备进行成像时，存在图像不均匀的情况，图像不均匀情况的存在，会影响加工质量和效率。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种实现激光直接成像图形均匀性的方法，其能提高曝光图形的均匀性，提高操作的便捷性，安全可靠。

按照本发明提供的技术方案，一种实现激光直接成像图形均匀性的方法，所述方法包括如下步骤：

步骤1、利用FPGA将数字微镜装置DMD的一行像素点切分成若干等份，以得到若干等分区域，每个等分区域扫描的行数以及需调整的曝光能量可调；