[发明专利]实现激光直接成像图形均匀性的方法

权利要求书

1.一种实现激光直接成像图形均匀性的方法，其特征是，所述方法包括如下步骤：

步骤1、利用FPGA将数字微镜装置DMD的一行像素点切分成若干等份，以得到若干等分区域，每个等分区域扫描的行数以及曝光能量可调；

步骤2、FPGA利用上述数字微镜装置DMD进行扫描曝光，以得到曝光图形；

步骤3、测量得到上述整个曝光图形的线宽以及每个等分区域扫描曝光图形对应的线宽，根据测量得到整个曝光图形的线宽确定图形目标线宽，并根据确定的图形目标线宽得到每个等分区域扫描曝光图形的补偿调整值；

步骤4、FPGA根据每个等分区域扫描曝光图像的补偿调整值调整相应等分区域的扫描行数，以使得在所述调整相应等分区域的扫描行数后，数字微镜装置DMD扫描曝光得到整个曝光图形的线宽与图形目标线宽相一致。

2.根据权利要求1所述的实现激光直接成像图形均匀性的方法，其特征是：在FPGA内，设置用于控制每个等分区域扫描行数的控制参数，所述控制参数为一个四位十六进制数；FPGA通过调整控制参数来调整所需等分区域的扫描行数，且FPGA在调整控制参数时，调整步长为8的整数倍。