[发明专利]静电检测系统与方法

说明书

一种静电检测系统与方法，其适于检测产生于基板的有源表面处的静电。所述静电检测系统包括感测装置与信号处理装置。感测装置设置于至少邻近所述基板的与所述有源表面相对的背面，用以测量产生于所述有源表面处的静电并产生初始电信号。信号处理装置与所述感测装置电性连接，用以接收所述初始电信号并对所述初始电信号以电压补偿值进行修正以得到最终电信号。

技术领域

本发明是有关于一种静电检测系统与方法。

背景技术

在目前的半导体制程中，通常借由基板传送装置(例如机械手臂、传送带等等)在不同的处理站之间传送基板。然而，在传送的过程中，基板与基板传送装置之间的界面磨擦会产生电荷累积的现象，容易导致基板上的组件受损。此外，在移除基板上的膜层的处理(例如撕膜处理)或将膜层贴附于基板上的处理(例如贴膜处理)中，静电会大量的产生，因此也会导致组件受损的问题。

为了检测产生于基板处的静电，目前大多是在传送基板的路径上设置静电检测装置来对通过的基板进行检测。然而，这些检测装置均是位于固定位置来自基板的有源表面(active surface)上方进行单点检测，因此无法有效且精确地检测出静电发生位置，且无法实时地对基板进行检测。

此外，对于撕膜或贴膜处理中的基板来说，由于处理空间较为狭小，因此无法在撕膜或贴膜处理的过程中自基板的有源表面上方来进行静电检测。

发明内容

本发明提供一种静电检测系统，其具有设置于至少邻近基板的与有源表面相对的背面的感测装置。

本发明提供一种静电检测方法，其用于检测产生于基板的有源表面处的静电。

本发明的静电检测系统包括感测装置与信号处理装置。所述静电检测系统适于检测产生于基板的有源表面处的静电。感测装置设置于至少邻近所述基板的与所述有源表面相对的背面，用以测量产生于所述有源表面处的静电并产生初始电信号。信号处理装置与所述感测装置电性连接，用以接收所述初始电信号并对所述初始电信号以电压补偿值进行修正以得到最终电信号。

本发明的静电检测方法包括以下步骤：将感测装置设置于至少邻近基板的与有源表面相对的背面；借由所述感测装置测量产生于所述有源表面处的静电并产生初始电信号；以及借由信号处理装置接收所述初始电信号并对所述初始电信号以电压补偿值进行修正，以得到最终电信号。

基于上述，本发明将用以测量静电的感测装置设置于至少邻近基板的背面，而非设置于基板的有源表面处上方位置且待基板通过时才进行静电测量，因此可以达到实时监控及掌握静电路径的目的。此外，在本发明中，由于感测装置设置于至少邻近基板的背面，因此在处理空间较狭小而无法自基板的有源表面处测量静电的情况下，仍可以有效地进行测量产生于基板的有源表面处的静电。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1为依据本发明实施例的静电检测方法的流程图。

图2为依据本发明一实施例的静电检测系统的示意图。

图3为图2中的基板与基板承载装置的顶视示意图。

图4为依据本发明另一实施例的静电检测系统的示意图。

图5为依据本发明另一实施例的静电检测系统的示意图。

图6为分别自基板的有源表面与背面进行静电检测的结果。

图7为用以验证本发明的静电检测方法的基板的顶视示意图。

符号说明

20：静电检测系统

100、102、104：步骤

200：机械手臂