[发明专利]静电检测系统与方法有效
| 申请号： | 201710130804.7 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108226658B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 唐敏注;汤士源;黄玉婷;杨明达 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01R29/24 | 分类号： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王珊珊 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静电 检测 系统 方法 | ||
1.一种静电检测系统，适于检测产生于基板的有源表面处的静电，所述静电检测系统包括：
感测装置，设置于至少邻近所述基板的与所述有源表面相对的背面，用以测量产生于所述有源表面处的静电并产生初始电信号；以及
信号处理装置，与所述感测装置电性连接，用以接收所述初始电信号并对所述初始电信号以电压补偿值进行修正以得到最终电信号，其中，
所述电压补偿值至少由所述基板的厚度和介电常数以及所述感测装置与所述背面之间的距离所决定。
2.如权利要求1所述的静电检测系统，其中所述感测装置与所述基板的所述背面接触。
3.如权利要求1所述的静电检测系统，其中所述基板的所述背面设置于基板承载装置上，且所述感测装置位于所述背面与所述基板承载装置之间。
4.如权利要求1所述的静电检测系统，其中所述基板的背面设置于基板承载装置上，且所述基板承载装置位于所述背面与所述感测装置之间。
5.如权利要求1所述的静电检测系统，其中所述感测装置包括多个感测组件。
6.如权利要求5所述的静电检测系统，其中所述感测组件以阵列方式排列。
7.如权利要求1所述的静电检测系统，其中所述初始电信号与所述最终电信号为电压信号。
8.如权利要求1所述的静电检测系统，其中所述感测装置与所述背面之间的距离不超过10厘米。
9.一种静电检测方法，包括：
将感测装置设置于至少邻近基板的与有源表面相对的背面；
借由所述感测装置测量产生于所述有源表面处的静电并产生初始电信号；以及
借由信号处理装置接收所述初始电信号并对所述初始电信号以电压补偿值进行修正，以得到最终电信号，其中，
所述电压补偿值至少由所述基板的厚度和介电常数以及所述感测装置与所述背面之间的距离所决定。
10.如权利要求9所述的静电检测方法，其中所述感测装置与所述基板的所述背面接触。
11.如权利要求9所述的静电检测方法，还包括将基板的所述背面设置于基板承载装置上，其中所述感测装置位于所述背面与所述基板承载装置之间。
12.如权利要求9所述的静电检测方法，还包括将基板的所述背面设置于基板承载装置上，其中所述基板承载装置位于所述背面与所述感测装置之间。
13.如权利要求9所述的静电检测方法，其中所述感测装置包括多个感测组件。
14.如权利要求13所述的静电检测方法，其中所述感测组件以阵列方式排列。
15.如权利要求9所述的静电检测方法，其中所述初始电信号与所述最终电信号为电压信号。
16.如权利要求9所述的静电检测方法，其中所述感测装置与所述背面之间的距离不超过10厘米。
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