[发明专利]半导体装置的制造方法及半导体装置有效

专利信息
申请号: 201710129003.9 申请日: 2017-03-06
公开(公告)号: CN107204293B 公开(公告)日: 2019-08-09
发明(设计)人: 三野利一 申请(专利权)人: 东芝存储器株式会社
主分类号: H01L21/52 分类号: H01L21/52;H01L23/10
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 杨林勋
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 半导体 装置 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体装置的制造方法,其特征在于具备如下步骤:

一边从与下述底面交叉的方向朝向下述第1面将下述挤压肋的一部分压扁,一边将具有半导体芯片的电路板保持在第1壳体部,所述第1壳体部具备第1凹部及从所述第1凹部的壁面突出的衬底保持用肋,且所述衬底保持用肋具有第1面、第2面、挤压肋及槽,所述第1面位于与所述第1凹部的底面隔开的位置,所述第2面从所述第1凹部的壁面朝向所述第1凹部的底面倾斜,所述挤压肋以从所述第2面突出的方式沿所述第2面的倾斜方向延伸,所述槽以与所述第2面的下端相接的方式设置在所述第1面与所述第2面之间;

将所述第1壳体部与具备第2凹部的第2壳体部以在由所述第1凹部及所述第2凹部包围的空间配置所述电路板的方式结合;以及

在所述保持步骤之前或之后,形成电连接在所述电路板的连接端子。

2.根据权利要求1所述的半导体装置的制造方法,其特征在于:所述底面至所述第1面的长度长于所述底面至所述第2面的下端的长度。

3.根据权利要求1或2所述的半导体装置的制造方法,其特征在于:所述壁面包含第1壁面以及与所述底面及所述第1壁面交叉的第2壁面,

所述第1壳体部具有多个所述衬底保持用肋,

所述多个衬底保持用肋的一个沿与所述第1壁面交叉的方向突出,

所述多个衬底保持用肋的另一个沿与所述第2壁面交叉的方向突出。

4.一种半导体装置,其包括具备衬底保持用肋的第1壳体部及与所述第1壳体部结合的第2壳体部;其特征在于:

所述第1壳体部具备第1凹部,且所述衬底保持用肋从所述第1凹部的壁面突出;

所述第2壳体部具备第2凹部,且以具有由所述第1凹部及所述第2凹部包围的空间的方式与所述第1壳体部结合;且

所述半导体装置更具备:

电路板,配置在所述空间,且具有半导体芯片;以及

连接端子,电连接在所述电路板;且

所述衬底保持用肋具有:

第1面,位于与所述第1凹部的底面隔开的位置;

第2面,从所述第1凹部的壁面朝向所述第1凹部的底面倾斜;

挤压肋,以从所述第2面突出的方式沿所述第2面的倾斜方向延伸;以及

槽,以与所述第2面的下端相接的方式设置在所述第1面与所述第2面之间;

所述挤压肋的一部分沿与所述底面交叉的方向被所述电路板压扁,

所述挤压肋的下端被挤出至所述槽的内部。

5.根据权利要求4所述的半导体装置,其特征在于:所述壁面包含第1壁面以及与所述底面及所述第1壁面交叉的第2壁面,

所述第1壳体部具有多个所述衬底保持用肋,

所述多个衬底保持用肋的一个沿与所述第1壁面交叉的方向突出,

所述多个衬底保持用肋的另一个沿与所述第2壁面交叉的方向突出。

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