[发明专利]半导体装置的制造方法及半导体装置有效
| 申请号: | 201710129003.9 | 申请日: | 2017-03-06 |
| 公开(公告)号: | CN107204293B | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
| 发明(设计)人: | 三野利一 | 申请(专利权)人: | 东芝存储器株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/52 | 分类号: | H01L21/52;H01L23/10 |
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 杨林勋 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 装置 制造 方法 | ||
1.一种半导体装置的制造方法,其特征在于具备如下步骤:
一边从与下述底面交叉的方向朝向下述第1面将下述挤压肋的一部分压扁,一边将具有半导体芯片的电路板保持在第1壳体部,所述第1壳体部具备第1凹部及从所述第1凹部的壁面突出的衬底保持用肋,且所述衬底保持用肋具有第1面、第2面、挤压肋及槽,所述第1面位于与所述第1凹部的底面隔开的位置,所述第2面从所述第1凹部的壁面朝向所述第1凹部的底面倾斜,所述挤压肋以从所述第2面突出的方式沿所述第2面的倾斜方向延伸,所述槽以与所述第2面的下端相接的方式设置在所述第1面与所述第2面之间;
将所述第1壳体部与具备第2凹部的第2壳体部以在由所述第1凹部及所述第2凹部包围的空间配置所述电路板的方式结合;以及
在所述保持步骤之前或之后,形成电连接在所述电路板的连接端子。
2.根据权利要求1所述的半导体装置的制造方法,其特征在于:所述底面至所述第1面的长度长于所述底面至所述第2面的下端的长度。
3.根据权利要求1或2所述的半导体装置的制造方法,其特征在于:所述壁面包含第1壁面以及与所述底面及所述第1壁面交叉的第2壁面,
所述第1壳体部具有多个所述衬底保持用肋,
所述多个衬底保持用肋的一个沿与所述第1壁面交叉的方向突出,
所述多个衬底保持用肋的另一个沿与所述第2壁面交叉的方向突出。
4.一种半导体装置,其包括具备衬底保持用肋的第1壳体部及与所述第1壳体部结合的第2壳体部;其特征在于:
所述第1壳体部具备第1凹部,且所述衬底保持用肋从所述第1凹部的壁面突出;
所述第2壳体部具备第2凹部,且以具有由所述第1凹部及所述第2凹部包围的空间的方式与所述第1壳体部结合;且
所述半导体装置更具备:
电路板,配置在所述空间,且具有半导体芯片;以及
连接端子,电连接在所述电路板;且
所述衬底保持用肋具有:
第1面,位于与所述第1凹部的底面隔开的位置;
第2面,从所述第1凹部的壁面朝向所述第1凹部的底面倾斜;
挤压肋,以从所述第2面突出的方式沿所述第2面的倾斜方向延伸;以及
槽,以与所述第2面的下端相接的方式设置在所述第1面与所述第2面之间;
所述挤压肋的一部分沿与所述底面交叉的方向被所述电路板压扁,
所述挤压肋的下端被挤出至所述槽的内部。
5.根据权利要求4所述的半导体装置,其特征在于:所述壁面包含第1壁面以及与所述底面及所述第1壁面交叉的第2壁面,
所述第1壳体部具有多个所述衬底保持用肋,
所述多个衬底保持用肋的一个沿与所述第1壁面交叉的方向突出,
所述多个衬底保持用肋的另一个沿与所述第2壁面交叉的方向突出。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东芝存储器株式会社,未经东芝存储器株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710129003.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:带液位报警功能的储运容器
- 下一篇:一种转锁装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





