[发明专利]具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板在审
申请号: | 201710127195.X | 申请日: | 2017-03-06 |
公开(公告)号: | CN107424974A | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 胡迪群 | 申请(专利权)人: | 胡迪群 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/552 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人: | 隆翔鹰 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 埋入 噪声 屏蔽 封装 | ||
技术领域
本发明涉及一种封装基板(package substrate),特别是涉及一种具有埋入式噪声屏蔽墙(noise shielding wall)的封装基板,其中,至少一条信号线夹在两屏蔽墙之间。
背景技术
如图1所示,美国专利US7,638,881B2于2009年12月29日公开的芯片封装100,包括芯片110、封装基板120、多个焊锡凸块130和界面金属层140。该芯片110具有多个设置于芯片110的表面114上的芯片焊垫112。封装基板120具有多个第一基板焊垫122、多个第二基板焊垫124以及表面接合层(其材料为Sn)126。在第一基板焊垫122和第二基板焊垫124设置于封装基板120的表面128上。表面接合层126(Sn)设置于第一基板焊垫122和第二基板焊垫124表面、且表面接合层126完全覆盖第一基板焊垫122和第二基板焊垫124表面。焊锡凸块130设置于芯片焊垫112和表面接合层126之间。界面金属层140设置于焊锡凸块130和表面接合层126之间。芯片110透过焊锡凸块130电性连接于封装基板120。
在今日,随着半导体封装技术的快速发展,封装基板的信号线的分布密度越来越高,紧密分布的信号线之间的串音干扰(crosstalk)变成严重的问题。
现有技术的缺点是,封装基板的信号线没有噪声屏蔽墙的设置,本发明就是为了解决封装基板的信号线的串音干扰(crosstalk)的问题。
发明内容
针对现有技术的上述不足,根据本发明的实施例,希望提供一种具有噪声屏蔽功能,能有效解决信号线的串音干扰(crosstalk)问题的封装基板(package substrate)。
根据实施例,本发明提供的一种具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板,包括第一信号线、左边屏蔽墙和右边屏蔽墙,第一信号线埋设于第一介电层中;左边屏蔽墙埋设于所述第一介电层中,并且配置在所述第一信号线的左边;右边屏蔽墙埋设于所述第一介电层中,并且配置在所述第一信号线的右边。
根据一个实施例,本发明前述具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板中,所述左边屏蔽墙具有的底表面,不高于所述第一信号线的底表面;所述右边屏蔽墙具有的底表面,不高于所述第一信号线的底表面。
根据一个实施例,本发明前述具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板中,还包括重新分布层和芯片,重新分布层配置在所述第一介电层的底侧;芯片配置在所述封装基板的顶面,所述芯片经由所述多个纵向金属接线,电性耦合到所述重新分布层的电路。
根据一个实施例,本发明前述具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板中,还包括底侧屏蔽墙,底侧屏蔽墙配置在所述左边屏蔽墙和所述右边屏蔽墙的底侧上。
根据一个实施例,本发明前述具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板中,还包括第二信号线,第二信号线埋设于所述第一介电层中,与所述第一信号线相邻并排配置;所述左边屏蔽墙配置在所述第一信号线的左边;右边屏蔽墙配置在第二信号线的右边。
根据一个实施例,本发明前述具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板中,还包括中间屏蔽墙,中间屏蔽墙配置在所述第一信号线和所述第二信号线之间。
根据一个实施例,本发明前述具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板中,所述左边屏蔽墙具有延伸区域向上延伸,越过所述第一信号线的顶表面;右边屏蔽墙具有延伸区域向上延伸,越过第一信号线的顶表面。
根据一个实施例,本发明前述具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板中,还包括顶侧屏蔽墙,顶侧屏蔽墙配置在所述左边屏蔽墙和所述右边屏蔽墙的顶表面。
根据一个实施例,本发明前述具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板中,还包括第二介电层,所述左边屏蔽墙具有延伸区域向上延伸,越过所述第一信号线的顶表面,埋设于所述第二介电层中;所述右边屏蔽墙具有延伸区域向上延伸,越过所述第一信号线的顶表面,埋设于所述第二介电层中。
根据一个实施例,本发明前述具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板中,还包括顶侧屏蔽墙,顶侧屏蔽墙配置在所述左边屏蔽墙和所述右边屏蔽墙的顶表面;所述顶侧屏蔽墙埋设于所述第二介电层中,且具有表面与所述第二介电层顶表面为共平面。
根据一个实施例,本发明前述具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板中,所述左边屏蔽墙向上延伸,越过所述第一信号线的顶表面;所述中间屏蔽墙向上延伸,越过所述第一信号线的顶表面;右边屏蔽墙向上延伸,越过所述第一信号线的顶表面。
根据一个实施例,本发明前述具有埋入式噪声屏蔽墙的封装基板中,还包括顶侧屏蔽墙,顶侧屏蔽墙配置在所述左边屏蔽墙、中间屏蔽墙以及右边屏蔽墙的顶侧。
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