[发明专利]角速度检测电路、角速度检测装置、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及一种角速度检测电路、角速度检测装置、电子设备以及移动体。

背景技术

近年来，开发有一种使用例如硅MEMS(Micro Electro Mechanical System：微机电系统)技术来对角速度进行检测的角速度传感器(陀螺传感器)。

在专利文献1中，公开了如下的技术，即，通过电容耦合的方式向检测电路的前级(检测模块部与C/V转换电路之间)输入正交误差消除信号，由此来降低检测模块部的输出信号中所包括的正交信号的技术。

然而，在专利文献1所记载的陀螺传感器中，检测模块部的输出信号为一个，而关于针对具备输出多个检测信号(例如互为反相的两个检测信号)的角速度检测元件的角速度检测装置来降低该多个检测信号中所各自包括的正交信号的方法，在专利文献1中并未予以公开。

专利文献1：美国专利申请公开第2007/0180908号说明书

发明内容

本发明鉴于以上的问题点而被完成，根据本发明的几个方式，能够提供一种使基于从角速度检测元件输出的多个检测信号而生成的输出信号的S/N提高的角速度检测电路以及角速度检测装置。此外，根据本发明的几个方式，能够提供一种使用了该角速度检测装置的电子设备以及移动体。

本发明为了解决前文所述的课题的至少一部分而被完成，其能够作为以下的方式或者应用例而实现。

应用例1

本应用例所涉及的角速度检测电路包括：第一转换部，其将从角速度检测元件的第一检测电极输出的第一检测信号转换为电压；第二转换部，其将从所述角速度检测元件的第二检测电极输出的第二检测信号转换为电压；角速度信号生成部，其具有对基于所述第一转换部的输出信号而产生的信号与基于所述第二转换部的输出信号而产生的信号进行差动放大的差动放大部，并基于所述差动放大部的输出信号而生成角速度信号；修正信号生成部，其根据基于所述角速度检测元件的驱动振动而产生的信号，生成用于使因所述第一检测信号以及所述第二检测信号中所包含的泄漏信号而产生的所述角速度信号的偏移降低的修正信号，所述修正信号被输入至处于从所述第一检测电极起至所述差动放大部的第一信号路径上的电路。

第一转换部例如可以为将电荷转换为电压的Q/V转换器(电荷放大器)，也可以为将电流转换为电压的I/V转换器。同样地，第二转换部例如可以为将电荷转换为电压的Q/V转换器(电荷放大器)，也可以为将电流转换为电压的I/V转换器。

应用例2

在上述应用例所涉及的角速度检测电路中，也可以采用如下方式，即，所述修正信号被输入至与所述第一转换部相比靠后级的电路。

应用例3

上述应用例所涉及的角速度检测电路也可以包括加法电路，该加法电路被设置在所述第一信号路径上，并将所述第一转换部的输出信号与所述修正信号相加。

根据这些应用例所涉及的角速度检测电路，通过将修正信号输入到处于从角速度检测元件的第一检测电极起至差动放大部的第一信号路径上的电路(与第一转换部相比靠后级的电路或加法电路)，从而能够使因第一检测信号以及第二检测信号中所包含的泄漏信号而产生的角速度信号的偏移降低。因此，根据本应用例所涉及的角速度检测电路，差动放大部的输出信号中所包含的角速度分量(科里奥利信号)与噪声分量之比会增大，其结果为，能够提高基于差动放大部的输出信号而生成的角速度信号的S/N。

应用例4

在上述应用例所涉及的角速度检测电路中，也可以采用如下方式，即，所述修正信号不被输入至处于从所述第二检测电极起至所述差动放大部的第二信号路径上的电路。

根据本应用例所涉及的角速度检测电路，由于在从第二检测电极至所述差动放大部的第二信号路径中不需要设置要被输入修正信号的电路，因此能够削减电路面积。

应用例5

在上述应用例所涉及的角速度检测电路中，也可以采用如下方式，即，所述修正信号生成部包括对所述修正信号的振幅进行调节的振幅调节部。

根据本应用例所涉及的角速度检测电路，通过生成由振幅调节部对振幅进行了调节的修正信号而在差动放大部的输出信号中使泄漏信号进一步衰减，因此，其结果为，能够进一步提高角速度信号的S/N。

应用例6