[发明专利]显示基板母板及其制作方法、紫外光光强监测方法及设备

说明书

本发明提供了一种显示基板母板及其制作方法、紫外光光强监测方法及设备，属于显示技术领域。其中，所述显示基板母板的非显示区域设置有至少一个光敏晶体管，在受到紫外光照射后，所述光敏晶体管的TFT特性参数能够发生变化。在对所述显示基板母板进行光配向之前，获取所述光敏晶体管的第一TFT特性参数；在对所述显示基板母板进行光配向之后，在所述光敏晶体管的光学特性发生变化前获取所述光敏晶体管的第二TFT特性参数；比对所述第一TFT特性参数和所述第二TFT特性参数，计算出光配向过程中的紫外光光强。本发明的技术方案能够对光配向过程中的紫外光光强进行监测。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是指一种显示基板母板及其制作方法、紫外光光强监测方法及设备。

背景技术

在LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示面板)的制作工艺中，需要在彩膜基板和阵列基板上设置配向膜，使得液晶分子在没有电场作用的情况下保持特定初始取向。配向膜的制作方法包括摩擦取向(Rubbing)和光配向(Photo Alignment)。

其中，光配向方法是利用通过偏振片后的紫外光照射显示基板上的待配向膜，使配向膜表面具有光学各向异性。与传统摩擦取向的方法相比，光配向法有效的避免了摩擦中的粉尘颗粒与静电残留，能够提升产品良率和稳定性。在光配向过程中，如果紫外光光强过低，会使得显示基板上的待配向膜接受的有效光能量不足，从而造成配向膜取向异常，液晶配向紊乱，导致液晶显示面板产生亮点等配向不良，因此，需要对光配向过程中的紫外光光强进行监测。

现有紫外光光强监测方式是在光配向设备空闲的情况下，将标准紫外光电探测器放在玻璃基板上进入到光配向设备中，模拟光配向过程中基板接收的紫外光的能量密度，但上述方式存在以下缺点：紫外光光强监测需占用设备生产时间，并且在对显示基板上的待配向膜进行光配向时，标准紫外光电探测器不能放入光配向设备中，因此，无法监测实际生产时的紫外光光强，模拟结果可能与实际生产时的紫外光光强存在差异，并且无法监测到在实际生产时光配向设备波动造成的紫外光光强异常。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种显示基板母板及其制作方法、紫外光光强监测方法及设备，能够对光配向过程中的紫外光光强进行监测。

为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：

一方面，提供一种显示基板母板，所述显示基板母板的非显示区域设置有至少一个光敏晶体管，在受到紫外光照射后，所述光敏晶体管的TFT特性参数能够发生变化。

进一步地，所述光敏晶体管的有源层所采用材料的带隙宽度E与紫外光的波长λ满足E＝hc/λ，其中，h为普朗克常数，c为光速。

本发明实施例还提供了一种显示基板母板的制作方法，用于制作如上所述的显示基板母板，所述制作方法包括：

在所述显示基板母板的非显示区域形成至少一个光敏晶体管，在受到紫外光照射后，所述光敏晶体管的TFT特性参数能够发生变化。

进一步地，所述显示基板母板上还形成有开关薄膜晶体管，形成所述光敏晶体管包括：

通过一次构图工艺同时形成所述开关薄膜晶体管的栅极和所述光敏晶体管的栅极；

通过一次构图工艺同时形成所述开关薄膜晶体管的源极、漏极和所述光敏晶体管的源极、漏极。

本发明实施例还提供了一种紫外光光强监测方法，利用如上所述的显示基板母板来监测光配向过程中的紫外光光强，所述方法包括：

在对所述显示基板母板进行光配向之前，获取所述光敏晶体管的第一TFT特性参数；

在对所述显示基板母板进行光配向之后，在所述光敏晶体管的光学特性发生变化前获取所述光敏晶体管的第二TFT特性参数；