[发明专利]振镜元件

说明书

该振镜元件具有镜部、驱动镜部的驱动部、能够检测镜部的位移量的应变传感器以及底座，该底座包括设置有镜部的镜梁部、设置有应变传感器的传感器梁部以及支撑镜梁部及传感器梁部且设置有驱动部的主体部。

技术领域

本发明涉及振镜元件，尤其涉及具有能够检测出镜部的位移量的应变传感器(strain sensor)的振镜元件(Oscillating Mirror Element)。

背景技术

以往，公知有具备能够检测出镜部的位移量的应变传感器的振镜元件。这样的振镜元件例如在日本特开2014-115612号公报中公开。

在上述日本特开2014-115612号公报中公开有一种振镜元件，其具有镜部、驱动镜部的驱动部、检测出镜部的位移量的应变传感器以及具有设置有镜部的梁部的底座。驱动部配置在梁部的固定端部分(根部分)。另外，应变传感器设置在驱动部的附近。此外，利用粘接剂将应变传感器粘接在底座上。

但是，在上述日本特开2014-115612号公报中，由于应变传感器配置在驱动部的附近，所以在驱动部发生大的位移的情况下，有时存在超过能够检测出的范围的过大的应力施加给应变传感器，而无法从应变传感器获得稳定的输出这样的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，本发明的一个目的在于提供能够从应变传感器获得稳定的输出的振镜元件。

本发明的一个方面的振镜元件具有：镜部；驱动部，驱动镜部；应变传感器，能够检测镜部的位移量；底座，包括设置有所述镜部的镜梁部、设置有所述应变传感器的传感器梁部以及设置有所述驱动部的主体部，该主体部支撑所述镜梁部及所述传感器梁部。

在本发明的一个方面的振镜元件中，如上所述，形成有底座，该底座包括设置有镜部的镜梁部、设置有应变传感器的传感器梁部以及支撑镜梁部及传感器梁部且设置有驱动部的主体部。由此，由于能够通过在镜梁部、传感器梁部以及主体部的规定部位分别设置镜部、应变传感器以及驱动部，使应变传感器与驱动部分离，所以能够抑制向应变传感器施加来自驱动部的过大的应力。另外，由于能够设置用于设置应变传感器的专用的传感器梁部，所以能够抑制设置在镜梁部的镜部的振动因应变传感器的粘接剂而衰减的情况。由此，能够一边抑制镜部的扫描特性降低，一边从应变传感器到获得稳定的输出。

在上述的一个方面的振镜元件中，优选，底座的主体部包括：外框部，镜梁部以及传感器梁部配置在外框部的内侧；一对梁支撑部，分别支撑镜梁部以及传感器梁部，且各自的一端向驱动部一侧延伸，各自的另一端与外框部连接。根据该结构，由于设置有镜部的镜梁部和设置有应变传感器的传感器梁部是被相同的构件即梁支撑部支撑，所以能够经由梁支撑部将来自驱动部的驱动力有效地传递到镜梁部及传感器梁部。

在这种情况下，优选，镜梁部与一对梁支撑部分别连接，传感器梁部与一对梁支撑部分别连接。根据该结构，由于镜梁部以及传感器梁部均为双臂梁(两端支撑梁)，所以能够通过镜梁部以及传感器梁部在镜部以及应变传感器彼此独立的状态下稳定支撑镜部以及应变传感器。

在上述的一个方面的振镜元件中，优选，在镜梁部与传感器梁部排列的方向上，镜梁部的宽度比传感器梁部的宽度窄。根据该结构，由于镜梁部的刚性变得比传感器梁部的刚性更小，所以能够使镜部进行比应变传感器更大的摆动。

在上述的一个方面的振镜元件中，优选，在镜梁部延伸的方向上，镜部与应变传感器以彼此的中心位置一致的方式配置。根据该结构，在镜梁部延伸的方向上，由于应变传感器被配置在与镜部相对应的位置上，所以能够通过应变传感器更加高精度地检测出镜部的位移量。