[发明专利]振镜元件

权利要求书

1.一种振镜元件，其特征在于，具有：

镜部；

驱动部，驱动所述镜部；

应变传感器，能够检测所述镜部的位移量；

底座，包括设置有所述镜部的镜梁部、设置有所述应变传感器的传感器梁部以及设置有所述驱动部的主体部，该主体部支撑所述镜梁部及所述传感器梁部，

所述传感器梁部相对于所述镜梁部平行配置。

2.根据权利要求1所述的振镜元件，其特征在于，

所述底座的所述主体部包括：

外框部，所述镜梁部及所述传感器梁部配置该外框部的内侧；

一对梁支撑部，分别支撑所述镜梁部及所述传感器梁部，且各自的一端向所述驱动部侧延伸，各自的另一端与所述外框部连接。

3.根据权利要求2所述的振镜元件，其特征在于，

所述镜梁部与所述一对梁支撑部分别连接，

所述传感器梁部与所述一对梁支撑部分别连接。

4.根据权利要求1所述的振镜元件，其特征在于，

在所述镜梁部与所述传感器梁部排列的方向上，所述镜梁部的宽度比所述传感器梁部的宽度更窄。

5.根据权利要求1所述的振镜元件，其特征在于，

在所述镜梁部延伸方向上，所述镜部与所述应变传感器以彼此的中心位置一致的方式配置。

6.根据权利要求1所述的振镜元件，其特征在于，

所述传感器梁部包括与所述镜梁部平行配置的悬臂梁，

所述悬臂梁的延伸方向上的长度比所述镜梁部的到所述镜部为止的长度短。

7.根据权利要求6所述的振镜元件，其特征在于，

所述悬臂梁的长度为所述镜梁部的到所述镜部为止的长度的二分之一以下。

8.根据权利要求1所述的振镜元件，其特征在于，

所述镜梁部配置为与所述传感器梁部平行。

9.根据权利要求1所述的振镜元件，其特征在于，

所述镜梁部配置在比所述传感器梁部更靠近所述驱动部的一侧。

10.根据权利要求1所述的振镜元件，其特征在于，

所述镜部包括第一镜部和第二镜部，该第一镜部接受并反射来自光源部的光，且被驱动为能够围绕第一轴线摆动，该第二镜部接受并反射来自所述第一镜部的光，且被驱动为能够围绕沿着与所述第一轴线垂直的方向延伸的第二轴线摆动，

该振镜元件还具备具有所述第一镜部的第一振镜元件部以及具有所述第二镜部的第二振镜元件部，

所述底座包括设置有所述第一振镜元件部的第一面以及设置有所述第二振镜元件部的第二面，

所述镜梁部、所述传感器梁部以及所述主体部设置在所述第一振镜元件部以及所述第二振镜元件部中的至少一者上。

11.根据权利要求10所述的振镜元件，其特征在于，

所述底座构成为所述第一面与所述第二面之间的弯折角度为锐角。

12.根据权利要求11所述的振镜元件，其特征在于，

所述镜梁部包括第一镜梁部和第二镜梁部，该第一镜梁部以能够驱动所述第一镜部围绕所述第一轴线摆动的方式支撑所述第一镜部，该第二镜梁部以能够驱动所述第二镜部围绕所述第二轴线摆动的方式支撑所述第二镜部，

所述第一镜梁部的厚度比所述第二镜梁部的厚度更薄。

13.根据权利要求12所述的振镜元件，其特征在于，

所述第一振镜元件部，在所述底座的厚度方向上的以所述第一轴线为中心的一侧和另一侧，重量相等。