[发明专利]UV掩膜板及其制作方法与框胶固化系统有效
| 申请号: | 201710113386.0 | 申请日: | 2017-02-28 |
| 公开(公告)号: | CN106896538B | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
| 发明(设计)人: | 刘亚伟;倪奎 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1339;G03F1/64 |
| 代理公司: | 44265 深圳市德力知识产权代理事务所 | 代理人: | 林才桂 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | uv 掩膜板 及其 制作方法 固化 系统 | ||
1.一种UV掩膜板,其特征在于,用于对大板(50)上的框胶(500)固化,所述大板(50)上排布有数个平面显示面板(51),所述大板(50)上的框胶(500)包括数个分别位于数个平面显示面板(51)中的内框胶(501);
所述UV掩膜板包括掩膜框(11)、固定于所述掩膜框(11)上的支撑板(12)、及安装于支撑板(12)上的数个掩膜单元(13);
所述支撑板(12)上对应所述数个掩膜单元(13)设有数个安装槽(121),所述数个掩膜单元(13)分别对应安装于所述数个安装槽(121)中;
所述安装槽(121)底部的边缘部分被保留而形成支撑台(1211),用于对相应掩膜单元(13)进行支撑,其余部分被去除而形成第一开口(1212),用于使UV光穿过掩膜单元(13)而照射在相应平面显示面板(51)的内框胶(501)上;
每一掩膜单元(13)均包括掩膜本体(131)和形成于掩膜本体(131)上的遮光层(132);所述掩膜本体(131)包括遮光区域和漏光区域,所述遮光层(132)对应覆盖所述掩膜本体(131)的遮光区域;
每一掩膜单元(13)对应一个平面显示面板(51),每一掩膜单元(13)的遮光层(132)用于遮挡相应平面显示面板(51)的显示区域,每一掩膜单元(13)的漏光区域用于透过UV光从而对相应平面显示面板(51)的内框胶(501)固化;
所述掩膜框(11)、及支撑板(12)的材料均为不锈钢;
所述掩膜本体(131)为石英板、或窄带滤光片。
2.如权利要求1所述的UV掩膜板,其特征在于,所述大板(50)上的框胶(500)还包括对应位于所述数个平面显示面板(51)外围的外框胶(502),所述支撑板(12)上对应所述数个掩膜单元(13)的外围设有数条第二开口(122),用于对大板(50)上的外框胶(502)进行固化。
3.如权利要求1所述的UV掩膜板,其特征在于,所述遮光层(132)的材料为金属,厚度为0.1-1000μm。
4.如权利要求3所述的UV掩膜板,其特征在于,所述遮光层(132)的材料为铬。
5.一种UV掩膜板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1、采用不锈钢材料制作一个掩膜框(11),再采用不锈钢材料制作一片支撑板(12),在所述支撑板(12)上挖出数个安装槽(121),所述安装槽(121)底部的边缘部分被保留而形成支撑台(1211),其余部分被去除而形成第一开口(1212);
步骤2、对应所述数个安装槽(121)提供数个掩膜单元(13),将所述数个掩膜单元(13)分别对应的安装于所述数个安装槽(121)中,此时每一掩膜单元(13)的边缘部分支撑于相应安装槽(121)的支撑台(1211)上;
每一掩膜单元(13)均包括掩膜本体(131)和形成于掩膜本体(131)上的遮光层(132);所述掩膜本体(131)包括遮光区域和漏光区域,所述遮光层(132)对应覆盖所述掩膜本体(131)的遮光区域;
步骤3、将安装有数个掩膜单元(13)的支撑板(12)固定在掩膜框(11)上,得到UV掩膜板;
所述UV掩膜板用于对大板(50)上的框胶(500)固化,所述大板(50)上排布有数个平面显示面板(51),所述大板(50)上的框胶(500)包括数个分别位于数个平面显示面板(51)中的内框胶(501);
所述步骤1中,支撑板(12)上的数个安装槽(121)根据大板(50)上排布的数个平面显示面板(51)进行设置;相应的,每一掩膜单元(13)对应一个平面显示面板(51);
每一掩膜单元(13)的遮光层(132)用于遮挡相应平面显示面板(51)的显示区域,每一掩膜单元(13)的漏光区域用于透过UV光从而对相应平面显示面板(51)的内框胶(501)固化;每一安装槽(121)的第一开口(1212)用于使UV光穿过掩膜单元(13)而照射在相应平面显示面板(51)的内框胶(501)上;
所述掩膜本体(131)为石英板、或窄带滤光片。
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