[发明专利]温度监控晶圆以及腔室温度的监控方法

权利要求书

1.一种温度监控晶圆，其特征在于，所述温度监控晶圆用于对腔室内的温度进行监控检测，所述温度监控晶圆包括：一基底以及形成于所述基底上的一荧光涂层，所述荧光涂层在不同的温度条件下具有不同的荧光特性，其中，所述荧光涂层在高于预定温度下发光强度衰减或者不发出光，用于在进行温度监控时观察所述荧光涂层是否产生预定颜色或强度的光，若未观察到预定颜色或强度的光，则判定所述腔室内的温度存在异常。

2.如权利要求1所述的温度监控晶圆，其特征在于，所述腔室包括一加热元件，通过所述加热元件使腔室内的温度维持在预定的范围内。

3.如权利要求1所述的温度监控晶圆，其特征在于，所述荧光涂层中的荧光材料为有机荧光材料。

4.如权利要求1所述的温度监控晶圆，其特征在于，所述荧光涂层为磷光体膜。

5.如权利要求1所述的温度监控晶圆，其特征在于，所述腔室的预定温度小于等于300℃。

6.如权利要求5所述的温度监控晶圆，其特征在于，所述荧光涂层的材质包括蒽。

7.如权利要求6所述的温度监控晶圆，其特征在于，所述荧光涂层的材质还包括正硅酸乙酯。

8.如权利要求1所述的温度监控晶圆，其特征在于，所述温度监控晶圆还包括一硅胶涂层，所述硅胶涂层覆盖所述荧光涂层。

9.一种腔室温度的监控方法，其特征在于，采用如权利要求1-8其中之一所述的温度监控晶圆进行监控检测，包括：

提供一温度监控晶圆，所述温度监控晶圆为形成有荧光涂层的晶圆，所述荧光涂层在不同的温度条件下具有不同的荧光特性；

将所述温度监控晶圆放置于腔室中；

观察所述温度监控晶圆中荧光涂层所产生的光；并判断是否为预定颜色或强度的光；若所述荧光涂层可产生预定颜色或强度的光时，则判定所述腔室内的温度无异常；若所述荧光涂层没有产生预定颜色或强度的光时，则判定所述腔室内的温度存在异常。

10.如权利要求9所述的腔室温度的监控方法，其特征在于，所述腔室包括一加热元件，通过所述加热元件使腔室内的温度维持在预定的范围内。

11.如权利要求10所述的腔室温度的监控方法，其特征在于，所述加热元件包括多个加热灯。

12.如权利要求11所述的腔室温度的监控方法，其特征在于，所述多个加热灯并联构成所述加热元件。

13.如权利要求9所述的腔室温度的监控方法，其特征在于，所述腔室为脱气腔室。

14.如权利要求9所述的腔室温度的监控方法，其特征在于，所述腔室具有一透明的观察窗口。