[发明专利]带行星盘的镀膜机膜片转动结构

说明书

本发明公开了一种带行星盘的镀膜机膜片转动结构，涉及镀膜机技术领域，镀膜机膜片公转结构，包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，所述定轴的上端部固定在罩体的顶部，所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个膜片行星盘机构。双轴承设置有利与转筒的稳定转动，减少轴承的卡死，可实现膜片自转。

技术领域

本发明涉及镀膜机技术领域，具体涉及一种带行星盘的镀膜机膜片转动结构。

背景技术

真空镀膜机主要由以下几部分组成：真空腔体，抽气系统，充气布气系统，加热系统，薄膜沉积控制系统，高压控制系统，低压控制系统，蒸发源系统，工件旋转系统。其功能描述如下：

真空腔体：镀膜加工的一个空间

抽气系统：使镀膜达到所需的真空度

充气布气系统：使气动元件获得足够的气压完成动作

加热系统：使基片达到镀膜所需的温度

薄膜沉积控制系统：使基片上镀的膜厚达到所需的要求

高压控制系统:使蒸发源获得足够的电压

低压控制系统：控制镀膜机的元件完成规定的动作

蒸发源系统：让膜料蒸发

工件旋转系统：装载基片并使其转动

目前行业内的镀膜机工转主要是单轴承，易发生卡死、抖动等问题，公转和自转普遍是链轮和链条结构，但是这种结构转动的时候不稳定，噪音大，而且链条链轮结构在长时间使用后会变松，从而影响膜层的均匀性。

发明内容

本发明要解决的技术问题是解决上述现有技术的不足，提供一种不易卡死，稳定的可实现基片公转和自转的镀膜机膜片转动机构。

为了解决上述现有技术的不足，本发明采用的技术方案是：镀膜机膜片公转结构，包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，所述传动机构主要包括一个驱动齿轮，所述罩体固定在底盘上，所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔，所述定轴的上端部固定在罩体的顶部，所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个膜片行星盘机构，所述行星盘机构包括自转轴以及对自转轴进行径向和轴向支撑的支撑部件，支撑部件安装在旋转板上，所述自转轴上端固定设有与自转轴同轴心的从动齿轮，从动齿轮可与传动齿轮啮合带动自转轴的自转，自转轴下端用于安装工件架装载基片。

进一步的，所述推力球轴承包括座圈、轴圈和钢球保持架组成，轴圈与减速齿轮或者转筒固定，座圈固定在环形底盘上。

进一步的，所述罩体靠近环形底盘的端部与推力球轴承对应位置设置环形空腔用于注入冷却水，罩体在环形空腔处设置注水孔和出水孔用于水循环。

进一步的，所述球轴承设置在罩体顶部，罩体顶部设置冷却水循环网路用于给球轴承降温。

进一步的，还包括一个磁流体密封装置，磁流体密封装置一端连接驱动电机，另一端伸入镀膜机真空腔连接驱动齿轮。

进一步的，所述定轴为中部结构，设置贯穿定轴的用于测量基片镀膜厚度的晶控探头。