[发明专利]带行星盘的镀膜机膜片转动结构

权利要求书

1.一种带行星盘的镀膜机膜片转动结构，包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，所述传动机构主要包括一个驱动齿轮，所述罩体固定在底盘上，其特征在于：所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔，所述定轴的上端部固定在罩体的顶部，所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个膜片行星盘机构，所述行星盘机构包括自转轴以及对自转轴进行径向和轴向支撑的支撑部件，支撑部件安装在旋转板上，所述自转轴上端固定设有与自转轴同轴心的从动齿轮，从动齿轮可与传动齿轮啮合带动自转轴的自转，自转轴下端用于安装工件架装载基片。

2.根据权利要求1所述的带行星盘的镀膜机膜片转动结构，其特征在于：所述推力球轴承包括座圈、轴圈和钢球保持架组成，轴圈与减速齿轮或者转筒固定，座圈固定在环形底盘上。

3.根据权利要求1或者2所述的带行星盘的镀膜机膜片转动结构，其特征在于：所述罩体靠近环形底盘的端部与推力球轴承对应位置设置环形空腔用于注入冷却水，罩体在环形空腔处设置注水孔和出水孔用于水循环。

4.根据权利要求1或者2所述的带行星盘的镀膜机膜片转动结构，其特征在于：所述球轴承设置在罩体顶部，罩体顶部设置冷却水循环网路用于给球轴承降温。

5.根据权利要求1所述的带行星盘的镀膜机膜片转动结构，其特征在于：还包括一个磁流体密封装置，磁流体密封装置一端连接驱动电机，另一端伸入镀膜机真空腔连接驱动齿轮。

6.根据权利要求1所述的带行星盘的镀膜机膜片转动结构，其特征在于：所述定轴为中部结构，设置贯穿定轴的用于测量基片镀膜厚度的晶控探头。

7.根据权利要求2所述的带行星盘的镀膜机膜片转动结构，其特征在于：所述球轴承和推力球轴承上涂抹有耐高温的润滑脂。

8.根据权利要求1所述的带行星盘的镀膜机膜片转动结构，其特征在于：自转轴的上端设置的从动齿轮有多个，且齿轮不同，所述支撑部件可相对于旋转板上下移动设置。

9.根据权利要求8所述的带行星盘的镀膜机膜片转动结构，其特征在于：所述支撑部件上设置多个环形凹槽，凹槽间距等于齿轮间距，沿凹槽设置一对半圆环形的垫片，垫片上设置螺孔，垫片固定在旋转板后将支撑部件夹持固定。