[发明专利]用于转移的多个微型装置的制备方法有效
| 申请号： | 201710105802.2 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN107228289B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 陈立宜;张佩瑜;詹志辉;张俊仪;林师勤;李欣薇 | 申请（专利权）人： | 美科米尚技术有限公司 |
| 主分类号： | F21K9/90 | 分类号： | F21K9/90;G01R31/44 |
| 代理公司： | 11279 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王正茂;丛芳<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 萨摩亚阿庇亚*** | 国省代码： | 萨摩亚;WS |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 转移 中间 结构 以及 微型 装置 制备 方法 | ||
1.一种用于转移的多个微型装置的制备方法，其特征在于，包含：
将所述多个微型装置暂时地黏贴至承载基板上；
测试所述承载基板上的所述多个微型装置，以决定所述多个微型装置中是否有至少一个第一损毁微型装置；以及
从所述承载基板上移除所述第一损毁微型装置，其中，移除所述第一损毁微型装置包含：
使所述多个微型装置从所述承载基板上脱黏；以及
从所述承载基板上能够确定位置地移除所述第一损毁微型装置。
2.如权利要求1所述的用于转移的多个微型装置的制备方法，其特征在于，还包含：
在移除所述第一损毁微型装置后，从所述承载基板上转移剩余的所述多个微型装置至接收基板。
3.如权利要求2所述的用于转移的多个微型装置的制备方法，其特征在于，转移所述剩余的所述多个微型装置是通过至少一个转移头而进行，所述转移头适用于能够确定位置地吸取所述剩余的所述多个微型装置的至少一个。
4.如权利要求2所述的用于转移的多个微型装置的制备方法，其特征在于，转移所述剩余的所述多个微型装置是通过至少一个转移头而进行，所述转移头适用于非能够确定位置地吸取所述剩余的所述多个微型装置。
5.如权利要求2所述的用于转移的多个微型装置的制备方法，其特征在于，转移所述剩余的所述多个微型装置是通过静电吸头、黏性吸头或其组合而进行。
6.如权利要求2所述的用于转移的多个微型装置的制备方法，其特征在于，转移所述剩余的所述多个微型装置包含：
能够确定位置地将所述剩余的所述多个微型装置的至少一个从所述承载基板上转移至所述接收基板；以及
能够确定位置地将所述剩余的所述多个微型装置的至少另一个从所述承载基板上转移至所述接收基板。
7.如权利要求2所述的用于转移的多个微型装置的制备方法，其特征在于，还包含：
获取所述接收基板上的至少一个微型装置空缺的至少一个位置；以及
以至少一个补丁微型装置，修补所述接收基板上的所述微型装置空缺。
8.如权利要求7所述的用于转移的多个微型装置的制备方法，其特征在于，还包含：
储存所述承载基板上的至少一个第一损毁微型装置的至少一个位置；以及
根据所述承载基板上的所述第一损毁微型装置的所述位置，决定所述接收基板上的所述微型装置空缺的所述位置。
9.如权利要求2所述的用于转移的多个微型装置的制备方法，其特征在于，还包含：
测试所述接收基板上的所述多个微型装置，以决定所述接收基板上是否有至少一个第二损毁微型装置；以及
以至少一个修复微型装置，修复所述接收基板上的所述第二损毁微型装置。
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