[发明专利]测定探头

权利要求书

1.一种测定探头，具备：测针，其具有用于与被测定物接触的接触部；探头外壳，其能够将该测针支承在轴心上；以及检测元件，其能够检测该接触部的移动，该测定探头的特征在于，具备：

多个支承构件，所述多个支承构件配置于所述探头外壳的轴向，容许所述测针的姿势变化；以及

连结轴，其将该多个支承构件连结，

对该多个支承构件中的离旋转中心位置最远的支承构件配置所述检测元件，利用该检测元件来检测该支承构件的应变量，其中，该旋转中心位置是在对所述接触部从与所述轴向正交的方向施加测定力时所述测针所产生的旋转的旋转中心位置，

所述测针被设为能够与所述连结轴一体地相对于所述探头外壳进行位移，或者被设为能够与所述探头外壳一体地相对于所述连结轴进行位移。

2.根据权利要求1所述的测定探头，其特征在于，

所述轴向的刚度和与该轴向正交的方向的刚度被设为相同。

3.根据权利要求1所述的测定探头，其特征在于，

离所述旋转中心位置最远的支承构件的刚度被设为低于其它支承构件的刚度。

4.根据权利要求1所述的测定探头，其特征在于，

在与所述轴向正交的方向上被所述多个支承构件支承并且顶端与所述接触部被设为一体的构件的刚度被设为高于离所述旋转中心位置最远的支承构件的刚度。

5.根据权利要求1所述的测定探头，其特征在于，

所述多个支承构件中的离所述旋转中心位置最远的支承构件被配置为最接近所述接触部。

6.根据权利要求1所述的测定探头，其特征在于，

所述多个支承构件分别是具备三个以上能够变形的臂部的旋转对称形状，该三个以上的臂部形成在同一平面上。

7.根据权利要求6所述的测定探头，其特征在于，

所述多个支承构件中的至少支承所述检测元件的支承构件具备4的倍数个的所述臂部。

8.根据权利要求6所述的测定探头，其特征在于，

所述支承构件除了具备所述臂部以外还具备中心部和周边部，该中心部与所述连结轴连接，该周边部与所述探头外壳连接且通过所述臂部而与该中心部连结，

所述检测元件配置于所述臂部的比中央靠周边部侧的位置。

9.根据权利要求8所述的测定探头，其特征在于，

所述臂部在周边部侧具备宽度比中心部侧的宽度窄的狭小部。

10.根据权利要求8所述的测定探头，其特征在于，

所述检测元件的端子部与该检测元件的检测部相比配置于所述臂部的靠中心部侧的位置。

11.根据权利要求1所述的测定探头，其特征在于，

对所述检测元件的输出进行处理的信号处理电路相对于所述多个支承构件的所有支承构件配置于与测针相反的一侧。

12.根据权利要求1所述的测定探头，其特征在于，

还具备超行程机构，在对所述轴向上的所述多个支承构件与所述测针之间施加了比规定的测定力大的力的情况下，该超行程机构使该测针的位置改变，在该大的力消失时，该超行程机构使该测针的位置自动复原。

13.根据权利要求1所述的测定探头，其特征在于，

在所述多个支承构件中的至少一个支承构件的两面彼此相对峙的对峙部与所述探头外壳设置成一体。

14.根据权利要求1所述的测定探头，其特征在于，

在壁构件与支承所述接触部的构件之间的间隙的至少局部填充有粘性材料或弹性材料，该壁构件相对于所述多个支承构件的所有支承构件位于测针侧，该壁构件被设为与所述探头外壳成一体且与支承该接触部的构件相对峙地配置。