[发明专利]压电振动片及压电振动器

说明书

本发明题为压电振动片及压电振动器。更大地确保压电振动片的有助于振动的电极部分的面积。压电振动片为音叉形的压电振动片，从基部延伸设置有一对振动臂部，在振动臂部的长边方向，在其主面（背面和表面）形成有一定宽度的槽部。在振动臂部的侧面和主面、槽部内形成有2个系统的激振电极。在将形成在振动臂部的侧面和槽部的侧面的堤部的宽度设为W0、形成在振动臂部的主面上的激振电极与激振电极的间隔设为电极分割宽度W1的情况下，以使电极分割宽度W1成为1μm＜W1＜3μm的范围、W0＞W1的方式形成。通过使电极分割宽度窄于3μm，能够加宽形成在振动臂部的主面上（堤部上）的激振电极的宽度。由此，能够增大有助于振动的电极部分的面积，并能使压电效应优良。

技术领域

本发明涉及压电振动片及压电振动器，具体涉及使振动臂部激振的激振电极。

背景技术

例如，在便携电话、便携信息终端设备等的电子设备中，作为用于时刻源、控制信号等的定时源、参考信号源等的器件，使用利用了石英等的压电振动器。

作为这种压电振动器，已知如专利文献1所示，在由封装件和盖体形成的空腔内气密密封压电振动片的压电振动器。

图6示出对于现有的一般压电振动片600的构造的、立体图（a）和从P－P截面开始的立体图（b）。

如图6（a）、（b）所示，压电振动片600具备：利用压电材料来形成的既定长度的基部800；以及从基部800并排延伸的一对振动臂700a、b。

在两振动臂700a、b的主面（表面/背面）形成有沿振动臂的长边方向延伸的槽720a、b，并且形成有对该主面和侧面施加驱动用的电压的2个系统的电极910、920。

电极910、920的形成是通过蒸镀或溅射来对包括槽720a、b内的压电振动片600的整体成膜电极材料的。而且利用光刻来除去图6的不存在斜线的部分，从而分割电极910和电极920。

这样形成的压电振动片600，通过对电极910和电极920施加不同系统的电压，使两振动臂700a、b互相振动。

此外，压电振动片600因为来自其被搭载的电子设备侧的要求而小型化。随着该压电振动片600的小型化，振动臂700a、b的宽度W0也越来越窄。

另一方面，一直以来电极910和电极920的间隔W5仍为6～7μm左右。

因此，形成在振动臂700a、b的主面（背面/表面）的电极910、920的宽度w变窄，结果出现有助于振动的（压电效应变好）电极部分的面积变小的问题。

此外，振动臂700a、b的宽度W0变窄，相应地也能缩小槽720a、b的宽度，但是对于宽度W0为10μm以下的振动臂700a、b，CI值会增大，因此并不优选缩小槽宽度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005－81501号公报。

发明内容

发明要解决的课题

本发明目的在于针对压电振动片的小型化，更大地确保有助于振动的电极部分的面积。

用于解决课题的方案

（1）在权利要求1所述的发明中，提供一种压电振动片，其特征在于，具备：基部；从所述基部并排延伸设置的一对振动臂部；配置在所述振动臂部的外周面的第1激振电极；以及配置在所述振动臂部的外周面的第2激振电极，在所述振动臂部的对置的两个主面形成的所述第1激振电极与所述第2激振电极的电极分割宽度W1为1μm＜W1＜3μm。