[发明专利]压电振动片及压电振动器有效
申请号: | 201710099544.1 | 申请日: | 2017-02-23 |
公开(公告)号: | CN107104652B | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 市村直也 | 申请(专利权)人: | 精工电子水晶科技股份有限公司 |
主分类号: | H03H9/05 | 分类号: | H03H9/05;H03H9/10;H03H9/13;H03H9/17 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 叶培勇;姜甜 |
地址: | 日本千叶*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 振动 振动器 | ||
1.一种压电振动片,其特征在于,具备:
基部;
从所述基部并排延伸设置的一对振动臂部;
配置在所述振动臂部的外周面的第1激振电极;以及
配置在所述振动臂部的外周面的第2激振电极,
在所述振动臂部的对置的两个主面形成的所述第1激振电极与所述第2激振电极的电极分割宽度W1为1μm<W1<3μm。
2.根据权利要求1所述的压电振动片,其特征在于:
在所述振动臂部的所述两个主面,沿着其长边方向形成有槽部,
在将形成在所述振动臂部的侧面和所述槽部的内侧面的堤部的宽度设为W0的情况下,
在所述堤部形成在所述主面的所述第1激振电极与所述第2激振电极的电极分割宽度W1为W1<W0。
3.根据权利要求2所述的压电振动片,其特征在于:所述堤部的宽度W0形成为约3μm。
4.根据权利要求2或权利要求3所述的压电振动片,其特征在于:至少在所述堤部的、形成在所述主面上的所述第1激振电极和所述第2激振电极被绝缘膜覆盖。
5.根据权利要求1、权利要求2或权利要求3所述的压电振动片,其特征在于:所述振动臂部各自以所述振动臂部的主面的宽度从所述振动臂部的前端侧的中途向所述基部侧逐渐变宽的方式,倾斜地形成所述振动臂部的两侧面。
6.根据权利要求5所述的压电振动片,其特征在于:
在所述倾斜的两侧面之中与另一振动臂部对置的内侧侧面宽度逐渐变宽至所述基部,
在所述倾斜的两侧面之中位于外侧的外侧侧面宽度逐渐变宽至到达所述基部的中途,从所述中途到所述基部为止形成为与所述基部的侧面同一平面。
7.根据权利要求1所述的压电振动片,其特征在于:具备在所述振动臂部的外侧并排并从所述基部延伸设置的、安装用的一对支撑臂部。
8.一种压电振动器,其特征在于,具备:
包括安装部的封装件;以及
经由接合材料安装在所述安装部的、权利要求1所述的压电振动片。
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