[发明专利]一种真空腔室传送装置

说明书

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，特别涉及一种用于在相邻的真空腔室之间传送物品的装置。

背景技术

真空设备都存在抽真空时间比较长，实验及生产效率比较低的问题，某些应用领域涉及到需要在真空功能室中通入危险气体、遇到某些气体导致工艺原料变质问题、某些工作气体遇到空气中的水会会变质问题等，为此需要配合真空功能室再做一个预真空室，使得样品从预真空室进出，而真空功能室不暴露大气，保持良好真空环境。这样，在预真空室与真空功能室间需要一个阀门，这个阀门可以开闭，打开时在保证样品有效在预真空室与真空功能室间传递的前提下，连接空间需要尽可能小，以减少气体扩散，并保证两个腔体连接尺寸尽可能小，有利于真空腔体设计，不至于因连接空间太大带来真空室的无效增大。

此外，当需要在预真空室与真空功能室之间进行物品传送时，如果采用直线形式传送，则机械手的行程不得小于预真空室的样品中心位置到真空功能室的样品放置位置的距离，由于真空功能室的样品多放置在中心位置上，加上预真空室与真空功能室之间必须具有真空隔断作用的真空锁，这个行程就会比较长，这样预真空室外就需要设置有一个直线长杆，从而造成设备整体就比较长，比较笨拙。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种真空腔室传送装置，以减少或避免前面所提到的问题。

为解决上述技术问题，本发明提出了一种真空腔室传送装置，其安装在预真空室中，用于向相邻的真空功能室进行物品传送，所述预真空室与所述真空功能室之间设置有真空锁，其包括固定在所述预真空室中的至少一个第一导轨，与所述第一导轨可滑动连接的第一安装座，所述第一安装座设置有与所述第一导轨垂直的第二导轨，所述第二导轨可滑动连接有第二滑块，所述第二滑块与转臂可旋转连接，所述转臂与固定在所述预真空室中的转轴可旋转连接，所述第一安装座设置有向所述真空功能室方向延伸的板状托架。

优选地，所述真空锁包括一个壳体，所述壳体两侧设置有用于与所述预真空室和所述真空功能室连通的通孔，所述壳体内设置有可上下滑动的锁身，所述锁身包括一块顶板，所述顶板两侧对称设置有密封板，所述顶板设置有多个凸出所述顶板表面的滚珠，所述密封板对应所述滚珠设置有多个圆锥形凹槽。

优选地，两个所述密封板之间设置有弹簧。

优选地，所述锁身设置有与所述壳体可滚动连接的导向轴承。

优选地，所述通孔和所述密封板、所述顶板均为矩形。

优选地，所述顶板的侧壁沿长度方向均布有四对所述滚珠，所述密封板的侧壁沿长度方向均布有四对所述圆锥形凹槽。

优选地，所述密封板设置有密封圈。

本发明所提供的一种真空腔室传送装置，结构紧凑，密封性好，能对相邻的两个真空腔室提供有效密封，并且对真空腔室的开口形状适应性强，此外，所述板状托架可以是很薄且长的片状结构，因此可以通过窄长的真空锁缝隙将物品送入或取出真空功能室，这样就可以减少对整个设备的尺寸要求。

附图说明

以下附图仅旨在于对本发明做示意性说明和解释，并不限定本发明的范围。其中，

图1为根据本发明的一个具体实施例的一种真空腔室传送装置的结构原理示意图；

图2为图1的真空腔室传送装置的应用环境的部分剖视原理示意图；

图3为图2的真空锁的立体分解结构原理示意图。

具体实施方式

为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本发明的具体实施方式。其中，相同的部件采用相同的标号。

图1为根据本发明的一个具体实施例的一种真空腔室传送装置的立体结构原理示意图；图2为图1的真空腔室传送装置的应用环境的部分剖视原理示意图；参见图1-2所示，本发明提供了一种真空腔室传送装置，其安装在预真空室101中，用于向相邻的真空功能室102进行物品传送，所述预真空室101与所述真空功能室102之间设置有真空锁，其包括固定在所述预真空室101中的至少一个第一导轨41，与所述第一导轨41可滑动连接的第一安装座42，所述第一安装座42设置有与所述第一导轨41垂直的第二导轨51，所述第二导轨可滑动连接有第二滑块52，所述第二滑块52与转臂53可旋转连接，所述转臂53与固定在所述预真空室101中的转轴54可旋转连接，所述第一安装座42设置有向所述真空功能室102方向延伸的板状托架43。