[发明专利]一种真空腔室传送装置

权利要求书

1.一种真空腔室传送装置，其特征在于，其安装在预真空室中，用于向相邻的真空功能室进行物品传送，所述预真空室与所述真空功能室之间设置有真空锁，其包括固定在所述预真空室中的至少一个第一导轨，与所述第一导轨可滑动连接的第一安装座，所述第一安装座设置有与所述第一导轨垂直的第二导轨，所述第二导轨可滑动连接有第二滑块，所述第二滑块与转臂可旋转连接，所述转臂与固定在所述预真空室中的转轴可旋转连接，所述第一安装座设置有向所述真空功能室方向延伸的板状托架。

2.根据权利要求1所述的真空腔室传送装置，其特征在于，所述真空锁包括一个壳体，所述壳体两侧设置有用于与所述预真空室和所述真空功能室连通的通孔，所述壳体内设置有可上下滑动的锁身，所述锁身包括一块顶板，所述顶板两侧对称设置有密封板，所述顶板设置有多个凸出所述顶板表面的滚珠，所述密封板对应所述滚珠设置有多个圆锥形凹槽。

3.根据权利要求2所述的真空腔室传送装置，其特征在于，两个所述密封板之间设置有弹簧。

4.根据权利要求2所述的真空腔室传送装置，其特征在于，所述锁身设置有与所述壳体可滚动连接的导向轴承。

5.根据权利要求2所述的真空腔室传送装置，其特征在于，所述通孔和所述密封板、所述顶板均为矩形。

6.根据权利要求5所述的真空腔室传送装置，其特征在于，所述顶板的侧壁沿长度方向均布有四对所述滚珠，所述密封板的侧壁沿长度方向均布有四对所述圆锥形凹槽。

7.根据权利要求1-6之一所述的真空腔室传送装置，其特征在于，所述密封板设置有密封圈。