[发明专利]样品保持器的调节机构,具有调节机构的显微镜及方法有效
| 申请号: | 201710088417.1 | 申请日: | 2017-02-17 |
| 公开(公告)号: | CN107102432B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
| 发明(设计)人: | T.卡尔克布伦纳;S.佩尔甘德;T.考夫赫德 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号: | G02B21/34 | 分类号: | G02B21/34 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邱军 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 样品 保持 调节 机构 具有 显微镜 方法 | ||
1.一种样品保持器(6)的调节机构(1),包括:
-基座(2),其上布置有驱动器(5.1至5.3),
-承载件(3),其
可通过所述驱动器(5.1至5.3)调节并且
设计为接收所述样品保持器(6),
-用于每个驱动器(5.1至5.3)的、设计为连接基座(2)和承载件(3)的联接元件(4.1至4.3),其中,每个联接元件(4.1至4.3)具有线性运动和旋转运动,
其特征在于,
-所述承载件(3)沿着从所述联接元件(4.1,4.2,4.3)指向所述承载件(3)的相应的运动轴(A1,A2,A3)是线性可移动的,
-所述承载件(3)通过驱动的联接元件(4.1至4.3)在笛卡尔坐标系的每个轴的方向上是可调节的,
-存在三个驱动器(5.1,5.2,5.3),
-所述驱动器(5.1至5.3)各自具有驱动轴(5.1A,5.2A,5.3A),沿该驱动轴实现或能够实现传递到或可传递到所述联接元件(4.1,4.2,4.3)的驱动器(5.1至5.3)的前进运动,其中,所述驱动轴(5.1A,5.2A,5.3A)被引导为彼此平行且垂直于所述基座(2),以及
-通过沿着运动轴(A1,A2,A3)可移动的螺栓(12)形成所述联接元件(4.1,4.2,4.3)到所述承载件(3)的连接。
2.根据权利要求1所述的调节机构(1),其特征在于,所述运动轴(A1,A2,A3)实际上在所述承载件(3)的枢转点(P)处相交。
3.根据权利要求2所述的调节机构(1),其特征在于,承载表面(3.1)的角点由所述驱动器(5.1至5.3)形成,并且枢转点(P)位于所述承载表面(3.1)上。
4.根据权利要求3所述的调节机构(1),其特征在于,所述枢转点(P)是所述承载表面(3.1)的面积形心。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的调节机构(1),其特征在于,所述基座(2)和承载件(3)可枢转地和/或可旋转地安装。
6.一种显微镜(10),包括根据权利要求1-5中的任一项所述的调节机构(1)。
7.一种显微镜,包括根据权利要求2-5中的任一项所述的调节机构(1),其特征在于,所述枢转点(P)位于所述显微镜(10)的光轴(10.1)上。
8.一种用于调节样品保持器(6)相对于参考轴(B)或参考平面的取向的方法,在所述方法中,
在根据权利要求6或7所述的显微镜(10)中,
检测所述样品保持器(6)的当前取向,其中,所述显微镜(10)的光轴(10.1)被引导通过所述样品保持器(6),
检测所述样品保持器(6)的光学有效元件(8)的当前取向,光轴(10.1)被引导通过所述光学有效元件(8),
将所述光学有效元件(8)的检测的当前取向与所述参考轴(B)或所述参考平面的取向和位置进行比较,以及
在所述光学有效元件(8)的当前取向与所述参考轴(B)或所述参考平面的偏差大于允许的偏差公差的情况下,通过所述显微镜(10)的调节机构(1)以受控方式修改所述样品保持器(6)的取向,使得所述光学有效元件(8)的当前取向与所述参考轴(B)或所述参考平面的偏差小于允许的偏差公差。
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