[发明专利]用于透射-电子背散射衍射的工具及衍射图像成像方法

权利要求书

1.一种用于透射-电子背散射衍射的工具，其特征在于包括垂直固定架(1)和样品夹具(2)；垂直固定架(1)的下端设有用于固定旋转样品台(3)的固定轴，下端为两个相互垂直的第一表面(4)和第二表面(5)，第一表面(4)上设有固定螺孔，第二表面(5)上设有成孔(6)；样品夹具(2)圆台(8)的一端设有与成孔(6)相配的圆柱杆(7)，另一端为可拆分的上半部(10)和固定在圆台(8)上的下半部(9)，上半部(10)通过螺钉(12)与下半部(9)固连，被测样品由上半部(10)和下半部(9)进行夹持；所述第一表面(4)与水平面成20度角；所述第二表面(5)与水平成70度角；所述上半部(10)和下半部(9)的夹持端为两个相交的斜面。

2.一种利用权利要求1所述用于透射-电子背散射衍射的工具进行透射-电子背散射衍射图像成像方法，其特征在于步骤如下：

步骤1：将被测材料制备成TEM薄片，置于样品夹具(2)的上半部(10)和下半部(9)的夹持缝隙中；

步骤2：将样品夹具(2)固定在垂直固定架(1)上，垂直固定架(1)上固定在SEM的标准EBSD样品台上，使得TEM薄片与电子束呈70度；

步骤3：将EBSD探头置于标准工作位置，调整EBSD探头的荧光屏的顶部比标准工作位置所在平面低5mm；

步骤4：根据所测材料，选择所施加SEM的加速电压以及WD，获取EBSD图像。

3.根据权利要求2所述方法，其特征在于：所述TEM薄片采用线切割获得厚度在1mm的薄片，后机械减薄样品至40μm厚度，之后进行双喷电解减薄，得到测试所需要的TEM薄片；所述双喷电解减薄的工艺根据所测材料选择。