[发明专利]基板保持状态异常的检查区域自动决定方法及处理装置

权利要求书

1.一种检查基板保持状态异常的检查区域自动决定方法，其用于基板处理装置，其特征在于，

所述基板处理装置具备：

基板保持部，其使基板在保持为水平姿态的状态下旋转；

处理控制部，其在所述基板保持部旋转的状态下对所述基板施加规定的处理；以及

异常检查部，其对被所述基板保持部保持的所述基板的保持状态的异常进行检查，

所述异常检查部具有：

拍摄装置，其从水平方向拍摄被所述基板保持部保持的所述基板而获得第1图像；

截取装置，其从所述第1图像截取第2图像，所述第2图像与位于被所述基板保持部适当地保持时的所述基板上方的检查区域对应；以及

判定装置，其对所述第2图像求出表示被所述基板保持部保持的所述基板的保持状态的特征量，根据该特征量判定所述保持状态的异常，

其中，所述检查基板保持状态异常的检查区域自动决定方法具有：

上端面确定工序，确定所述第1图像中被所述基板保持部正常地保持的状态下的所述基板的上端面；

垂直位置决定工序，根据由所述上端面确定工序确定的所述第1图像中的所述基板的上端面的位置，决定所述检查区域的上下方向的位置；以及

水平位置决定工序，对决定了所述上下方向的位置的候选所述检查区域，求出所述基板保持部的旋转开始时的各像素的浓度，并求出与所述基板保持部的初始状态下的同一区域的各像素的浓度之间的差分绝对值的积分值、即差分图像积分值，根据求出的差分图像积分值来决定所述检查区域的水平位置。

2.根据权利要求1所述的检查基板保持状态异常的检查区域自动决定方法，其特征在于，

在所述水平位置决定工序中，将所述检查区域的水平位置设为所述差分图像积分值成为最小的位置。

3.根据权利要求1所述的检查基板保持状态异常的检查区域自动决定方法，其特征在于，

在所述上端面确定工序中，将所述基板的上端面的位置确定为如下的位置：所述第1图像的规定的水平位置中的像素与在垂直方向的相邻像素的浓度差分值成为关于该垂直方向的各像素的浓度的标准偏差的规定倍数以上的位置。

4.根据权利要求1所述的检查基板保持状态异常的检查区域自动决定方法，其特征在于，

所述特征量根据所述差分图像积分值来决定，根据所述基板保持部的旋转中的所述第1图像的所述检查区域的所述差分图像积分值的平均值以及标准偏差来决定用于判定所述基板保持状态异常的所述特征量的阈值。

5.根据权利要求1所述的检查基板保持状态异常的检查区域自动决定方法，其特征在于，

所述基板保持部的旋转开始时的所述第1图像是：在规定的旋转开始判定区域内的所述差分图像积分值超过规定的第2阈值时，通过所述拍摄装置从水平方向拍摄被所述基板保持部保持的所述基板的图像。

6.根据权利要求5所述的检查基板保持状态异常的检查区域自动决定方法，其特征在于，

所述旋转开始判定区域的位置被决定为如下的位置：

从所述基板保持部的停止状态至旋转开始后的各规定期间拍摄的多个所述第1图像中、在所述第1图像整体的所述差分图像积分值变成最大的时刻之前拍摄的、来自前一个所述第1图像的所述差分图像积分值的变化即将超过规定的第3阈值的所述第1图像中，所述差分图像积分值变成最大的位置。

7.根据权利要求5所述的检查基板保持状态异常的检查区域自动决定方法，其特征在于，所述第2阈值根据所述基板保持部的停止中的所述第1图像的所述旋转开始判定区域的所述差分图像积分值的平均值以及标准偏差来决定。

8.根据权利要求7所述的检查基板保持状态异常的检查区域自动决定方法，其特征在于，所述第2阈值还根据所述基板保持部的停止中的所述第1图像的所述旋转开始判定区域的所述差分图像积分值的最大值以及旋转开始时的所述第1图像的所述旋转开始判定区域的所述差分图像积分值的最小值来决定。