[发明专利]麦克风及其制造方法

说明书

本发明提供麦克风及其制造方法。本发明提供微电子机械系统(MEMS)麦克风。MEMS麦克风包括：基底，其包括音频孔，并且沿着上表面边缘在预定段处具有氧化物层；振动电极，其由支撑层支撑，所述支撑层在音频孔相对应的上部，以从氧化物层向中心内侧分离的状态，沿着上表面边缘形成；固定电极，其形成在氧化物层的上部，并且支撑层的一侧接合到固定电极的下表面的一侧；和背板，其形成在固定电极的上部，并且支撑层的另一侧接合到背板的下表面的一侧。

相关申请的交叉引用

本申请要求2016年10月21日在韩国知识产权局提交的第10-2016-0137786号韩国专利申请的优先权，其全部内容引入本文以供参考。

技术领域

本发明涉及一种麦克风及其制造方法。

背景技术

通常，麦克风是将语音转换为电信号的装置，并且最近逐渐形成为小尺寸，因此已经开发了使用微电子机械系统(MEMS)技术的麦克风。

这样的MEMS麦克风与常规的驻极体电容式麦克风(ECM)相比具有对潮湿和热的强耐受性，可以以小尺寸形成，并且可以与信号处理电路集成。

在MEMS麦克风的通信环境中，周围噪声是大的限制要素，并且需要用于去除这种周围环境的噪声的技术。

最近，作为去除周围噪声的一般方法，主要使用这样一种方法：使用音频元件分析非语音段处的噪声谱，并使用该噪声谱估计语音段处的噪声谱，以从混合有语音和噪声的信号中扣除噪声，从而去除噪声。

此外，MEMS麦克风需要用于振动的噪声以及语音(即，声音)的噪声的鲁棒结构。

特别地，在应用于车辆的MEMS麦克风中，声源的距离远，并且，因为车辆环境中由振动产生的噪声可变地发生，MEMS麦克风比应用于移动设备的元件需要鲁棒性更好的结构。

也就是说，在应用于车辆的MEMS麦克风中，需要研究和开发这样一种结构，其能够提高甚至对由周期性发生的振动产生的噪声的灵敏度。

本部分的公开内容是提供本发明的背景。申请人注意到，本部分可能包含本申请之前可获得的信息。然而，尽管提供本部分，申请人并不承认本部分中包含的任何信息构成现有技术。

发明内容

本发明的实施方式提供一种麦克风，其包括：基底，其包括音频孔，并且沿着上表面边缘在预定段内形成有氧化物层；振动电极，其由支撑层支撑，所述支撑层在音频孔相对应的上部，以从氧化物层向中心内侧分离的状态，沿着上表面边缘形成；固定电极，其形成在氧化物层的上部，并且支撑层的一侧接合到固定电极的下表面的一侧；和背板，其形成在固定电极的上部，并且支撑层的另一侧接合到背板的下表面的一侧。

支撑层在与背板连接的另一侧可以包括连接电极。

在固定电极处，可以贯通多个空气通道。

在背板处，可以形成多个通孔以对应于空气通道。

在背板处，在多个通孔的外侧可以形成电极通道，并且在电极通道处可以形成电极极板，以与振动电极和固定电极电连接。

根据本发明的实施方式，在将振动电极连接到固定电极和背板的下表面的同时保持与基底分离的状态的结构中，当从外部引入振动时，振动电极的振动被基底抑制，并且通过振动电极和固定电极的相应的振动位移，可以使振动噪声最小化。

此外，在本发明的实施方式的详细描述中直接或隐含地描述了由于本发明的实施方式可以获得或估计的效果。也就是说，将在稍后描述的详细描述中，描述根据本发明的实施方式估计的各种效果。

附图说明

图1是根据本发明的实施方式的麦克风的示意性截面图。

图2至图10是示出根据本发明的实施方式的麦克风的顺序处理的图。