[发明专利]麦克风及其制造方法

权利要求书

1.一种麦克风，包括：

基底，其包括音频孔，并且沿着上表面边缘在预定段内形成有氧化物层；

振动电极，其在与所述音频孔相对应的上部，以与所述氧化物层向中心内侧分离的状态，由支撑层支撑，所述支撑层沿着上表面边缘形成；

固定电极，其形成在所述氧化物层的上部，并且所述支撑层的一侧接合到所述固定电极的下表面的一侧；和

背板，其形成在所述固定电极的上部，并且所述支撑层的另一侧接合到所述背板的下表面的一侧，

其中所述振动电极通过所述支撑层连接至所述固定电极的下表面和所述背板的下表面。

2.根据权利要求1所述的麦克风，其中所述支撑层在与所述背板连接的另一侧包括连接电极。

3.根据权利要求1所述的麦克风，其中在所述固定电极处，贯通多个空气通道。

4.根据权利要求3所述的麦克风，其中在所述背板处，形成多个通孔，以对应于所述空气通道。

5.根据权利要求4所述的麦克风，其中在所述背板处，在所述多个通孔的外侧形成电极通道，并且

在所述电极通道处形成电极极板，以与所述振动电极和所述固定电极电连接。

6.一种制造麦克风的方法，所述方法包括以下步骤：

形成振动电极，所述振动电极由支撑层支撑，所述支撑层以从形成在基底的上表面的氧化物层向中心内侧隔开预定间隙的状态沿着上表面边缘形成；

在沿着所述基底的上表面边缘形成的所述氧化物层的上部形成固定电极；以及

在所述固定电极和所述氧化物层的上部形成背板，

其中，所述支撑层的一侧接合到所述固定电极的下表面的一侧，

其中，所述支撑层的另一侧接合到所述背板的下表面的一侧，并且

其中，所述振动电极通过所述支撑层连接至所述固定电极的下表面和所述背板的下表面。

7.根据权利要求6所述的方法，其中形成振动电极的步骤包括：

在所述基底的一个表面形成第一氧化物膜；以及

在所述第一氧化物膜的上表面形成振动电极。

8.根据权利要求6所述的方法，其中形成固定电极的步骤包括：

在所述振动电极的上表面形成第二氧化物膜；

形成贯通所述第二氧化物膜以便与所述振动电极连接的多个通孔；

在所述多个通孔中的每一个处形成牺牲电极和连接电极；以及

在所述第二氧化物膜的上部形成具有多个空气通道的固定电极。

9.根据权利要求8所述的方法，其中形成牺牲电极和连接电极的步骤包括：

形成牺牲电极，以在与所述振动电极的两个端部相对应的位置处贯通所述第二氧化物膜；以及

形成与所述振动电极的上表面的一侧接触的连接电极。

10.根据权利要求8所述的方法，其中形成背板的步骤包括：

在所述第二氧化物膜和所述固定电极的上部形成具有多个通孔的背板；

在形成于所述背板的多个通孔的外侧形成与所述固定电极和所述连接电极的上表面相对应的电极通道；以及

在所述电极通道处形成与所述固定电极和所述连接电极接触的电极极板。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述多个通孔形成在与所述固定电极的空气通道相对应的位置处。

12.根据权利要求6所述的方法，还包括以下步骤：在形成背板之后，

形成贯通所述基底的音频孔；

去除第一氧化物膜和第二氧化物膜的一部分；以及

去除形成在所述振动电极的两个端部处以贯通所述第二氧化物膜的连接电极。

13.根据权利要求12所述的方法，其中去除第一氧化物膜的一部分包括去除与所述连接电极的外侧表面相对应的中心部分。

14.根据权利要求12所述的方法，其中去除第二氧化物膜的一部分包括去除中心部分，除了与所述振动电极的上部相对应的所述第二氧化物膜中的沿着所述振动电极的上表面边缘的预定段。