[发明专利]探针头、探针模块及其制作方法

说明书

本发明提供一种探针头、探针模块及其制作方法。该探针头包括一基材、多个探针、一柱材以及一锁固套。探针设于该基材之上。该基材固定于该柱材的一端。锁固套固定于该柱材的另一端。本发明可以先对个别探针头的位置进行调整，然后再进行多组探针头组装，增进了对位效率。

技术领域

本发明是有关于一种探针模块及其探针头，特别是有关于一种可提升检测效率的探针模块、探针头及其制作方法。

背景技术

已知的探针模块由菱形排列的探针单元所构成，该等探针单元紧密排列。在已知技术中，基于走线配置的问题，探针模块至多仅能同时具有八个探针单元，即，仅能同时对八颗芯片进行检测。

此外，在已知探针模块的制造过程中，该等探针单元在玻璃光罩下进行对位，由于玻璃光罩与探针单元之间的间距有限，作业空间极小，因此仅能同时对整排探针单元进行对位调整，无法个别调整单一探针单元的位置。

发明内容

本发明是为了欲解决已知技术的问题而提供的一种探针头，包括一基材、多个探针、一柱材以及一锁固套。探针设于该基材之上。该基材固定于该柱材的一端。锁固套固定于该柱材的另一端。

在一实施例中，该基材包括一矩形凹槽，该等探针设于该矩形凹槽的四边之上。

在一实施例中，该锁固套包括一螺孔，该探针头适于被固定于一基板之上，一固定件穿过该基板，并锁入该螺孔，以将该探针头固定于该基板。

在一实施例中，该锁固套以紧配或胶合的方式嵌设于该柱材之中。

在一实施例中，该柱材包括一对位凹部，该基材嵌入于该对位凹部之中。

在一实施例中，该基材的材质包括环氧树酯，该柱材为圆柱，该柱材的材质包括陶瓷。

在一实施例中，本发明亦提供一种探针模块，包括一基板、多个固定件以及多个探针头。每一探针头包括一基材、多个探针、一柱材以及一锁固套。探针设于该基材之上。该基材固定于该柱材的一端。锁固套固定于该柱材的另一端。该固定件穿过该基板并锁入该锁固套，以将该探针头固定于该基板之上。

在一实施例中，该探针模块更包括至少一锁固座，该基板包括一第一表面以及一第二表面，该第一表面相反于该第二表面，该等探针头设于该第一表面，该锁固座对应设于该第二表面，该固定件穿过该基板以及该锁固座，并锁入该锁固套，以将该探针头固定于该基板之上。

在一实施例中，该探针模块更包括多垫片，该垫片对应抵接该锁固套，该固定件穿过该垫片。

在一实施例中，该等探针头以矩阵方式排列。

在一实施例中，本发明亦提供一种探针模块制作方法，包括下述步骤。首先，提供一基板以及多个固定件。接着，提供多个探针头，每一探针头包括一基材、多个探针、一柱材以及一锁固套，多个探针设于该基材之上，该基材固定于该柱材的一端，锁固套固定于该柱材的另一端。再，提供一三次元光学量测仪。接着，通过该三次元光学量测仪，将该等探针头定位于该基板之上。再，以该等固定件锁固该等探针头，以固定该等探针头的位置。

在一实施例中，该三次元光学量测仪与该等探针头之间的距离大于100mm～150mm。

在一实施例中，在将该等探针头定位于该基板之上的步骤中，每一探针头的其中的一该探针的一尖端，以手动的方式对准一定位记号。

在一实施例中，该探针模块制作方法更包括将该等探针分别焊接于该基板之上的步骤。