[发明专利]探针头、探针模块及其制作方法

权利要求书

1.一种探针头，其特征在于，包括：

一基材，包括一第一侧以及一第二侧，其中，该第一侧相反于该第二侧；

多个探针，设于该基材的该第一侧上；

一柱材，该柱材的一端被固定于该基材的该第二侧；以及

一锁固套，固定于该柱材的另一端。

2.如权利要求1所述的探针头，其特征在于，该基材包括一矩形凹槽，该多个探针设于该矩形凹槽的四边之上。

3.如权利要求2所述的探针头，其特征在于，该锁固套包括一螺孔，该探针头适于被固定于一基板之上，一固定件穿过该基板，并锁入该螺孔，以将该探针头固定于该基板。

4.如权利要求3所述的探针头，其特征在于，该锁固套以紧配或胶合的方式嵌设于该柱材之中。

5.如权利要求2所述的探针头，其特征在于，该柱材包括一对位凹部，该基材嵌入于该对位凹部之中。

6.如权利要求2所述的探针头，其特征在于，该基材的材质包括环氧树酯，该柱材为圆柱，该柱材的材质包括陶瓷。

7.一种探针模块，其特征在于，包括：

一基板；

多个固定件；以及

多个探针头，每一探针头包括：

一基材，包括一第一侧以及一第二侧，其中，该第一侧相反于该第二侧；

多个探针，设于该基材的该第一侧上；

一柱材，该柱材的一端被固定于该基材的该第二侧；以及

一锁固套，固定于该柱材的另一端，

其中，该固定件穿过该基板并锁入该锁固套，以将该探针头固定于该基板之上。

8.如权利要求7所述的探针模块，其特征在于，更包括至少一锁固座，该基板包括一第一表面以及一第二表面，该第一表面相反于该第二表面，该多个探针头设于该第一表面，该锁固座对应设于该第二表面，该固定件穿过该基板以及该锁固座，并锁入该锁固套，以将该探针头固定于该基板之上。

9.如权利要求7所述的探针模块，其特征在于，更包括多个垫片，该垫片对应抵接该锁固套，该固定件穿过该垫片。

10.如权利要求7所述的探针模块，其特征在于，该多个探针头以矩阵方式排列。

11.一种探针模块制作方法，其特征在于，包括：

提供一基板以及多个固定件；

提供多个探针头，每一探针头包括一基材、多个探针、一柱材以及一锁固套，该基材包括一第一侧以及一第二侧，其中，该第一侧相反于该第二侧，多个探针设于该基材的该第一侧上，该柱材的一端被固定于该基材的该第二侧，锁固套固定于该柱材的另一端；

提供一三次元光学量测仪；

通过该三次元光学量测仪，将该多个探针头定位于该基板之上；以及

以该多个固定件锁固该多个探针头，以固定该多个探针头的位置。

12.如权利要求11所述的探针模块制作方法，其特征在于，该三次元光学量测仪与该多个探针头之间的距离大于100mm～150mm。

13.如权利要求11所述的探针模块制作方法，其特征在于，在将该多个探针头定位于该基板之上的步骤中，每一探针头的其中的一该探针的一尖端，以手动的方式对准一定位记号。

14.如权利要求11所述的探针模块制作方法，其特征在于，更包括：

将该多个探针分别焊接于该基板之上。