[发明专利]涡轮分子泵

权利要求书

1.一种涡轮分子泵，其特征在于包括：

转子，形成有多段旋转叶片与圆筒部；

多段固定叶片，相对于所述多段旋转叶片而交替地配置；

多个隔片，通过积层而将所述多段固定叶片定位；

定子，相对于所述圆筒部隔着间隙而配置；

基座，固定所述定子；

隔片冷却部，配置在积层的所述隔片的最下段隔片与所述基座之间，且具有供冷却液流通的第一流路；

加热器，使所述定子升温；

温度传感器，检测所述定子的温度；

基座冷却部，形成有与所述第一流路串联连接的第二流路，使所述基座冷却；以及

温度控制部，控制所述冷却液向串联连接的所述第一流路及所述第二流路的流通与所述加热器的通电，而将所述定子的温度维持在规定温度。

2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，

所述第二流路的流出部连接于所述第一流路的流入部，以使所述冷却液按所述第二流路、所述第一流路的顺序流通。

3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，

所述第一流路的流出部连接于所述第二流路的流入部，以使所述冷却液按所述第一流路、所述第二流路的顺序流通。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于包括：

旁通配管，相对于串联连接的所述第一流路及所述第二流路而并联连接；以及

三通阀，选择性地切换为第一流通状态与第二流通状态，所述第一流通状态下所述冷却液流通到所述第一流路及所述第二流路，所述第二流通状态下所述冷却液流通到所述旁通配管；且

所述温度控制部控制所述加热器的通电及利用所述三通阀在所述第一流通状态与所述第二流通状态之间的切换，而将所述定子的温度维持在所述规定温度。