[发明专利]竖直插入式阻挡脚及伯努利吸盘

说明书

本发明提供一种竖直插入式阻挡脚及伯努利吸盘，包括：支撑盘，支撑盘内沿其厚度方向设有通孔，通孔包括第一部分及位于第一部分下方且与第一部分相连通的第二部分；阻挡脚，适于插入至支撑盘的通孔内，阻挡脚包括支撑部及位于支撑部下方且与支撑部的底部相连接的阻挡部；支撑部的宽度大于通孔第二部分的宽度且小于或等于通孔第一部分的宽度；阻挡部的宽度小于或等于通孔第二部分的宽度，且阻挡部沿支撑盘厚度方向的尺寸大于通孔第二部分沿支撑盘厚度方向的高度。竖直插入式阻挡脚由于采用竖直插入式结构，在将其用于伯努利吸盘时，操作安装方便，不易造成阻挡脚的损坏。

技术领域

本发明属于半导体设备技术领域，特别是涉及一种竖直插入式阻挡脚及伯努利吸盘。

背景技术

在现有的半导体技术领域，对于外延炉而言，目前一种主流的传片方式为采用非接触式的伯努利吸盘进行传片；请参阅图1及图2，伯努利吸盘的主体为石英吸附盘11，所述石英吸附盘11内设有气体管路12，所述石英吸附盘11的表面设有若干个出气孔13，当氮气从出气孔13喷出时，由于伯努利原理，可将晶圆14从基座上吸附起来，并保持与所述伯努利吸盘之间有一层气膜。当所述晶圆14在竖直方向被吸气之后，由于气流的作用，所述晶圆14会在水平方向滑动；为了阻止所述晶圆14在水平方向上滑动，一般还会在所述伯努利吸盘11外侧设置一对石英阻挡脚15以防止所述晶圆14的滑动。所述石英阻挡脚15是由细长的石英棒16连接，并通过水平的所述石英棒16插入到位于所述石英吸附盘11顶部的石英槽17内。

然而，上述伯努利吸盘由于需要通过所述石英棒16将所述石英阻挡脚15水平插入到所述石英槽17内，存在如下问题：1.在安装所述石英阻挡脚15时，由于所述石英棒16非常脆弱，很容易损坏所述石英棒16。2.由于连接所述石英阻挡脚15的所述石英棒16非常细，而所述伯努利吸盘需要伸入温度为900℃的反应腔内进行抓片，长期工作在如此高温条件下，所述石英棒16会存在高温软化的现象，软化后所述石英阻挡脚15无法准确的阻挡水平移动的所述晶圆14，所述晶圆14会有一定的几率撞到所述石英棒16上，由于撞击面积过小，使得撞击力度很大，容易在所述晶圆14表面产生大量的颗粒缺陷(Particle)，进而影响所述晶圆14的品质。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种竖直插入式阻挡脚及伯努利吸盘，用于解决现有技术中的的伯努利吸盘由于需要使用较细的石英棒将阻挡脚水平插入到石英槽内而存在的容易损坏石英棒的问题，以及石英棒容易软化从而使得晶圆撞到石英棒上而在晶圆的表面产生大量的颗粒缺陷的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种竖直插入式阻挡脚，所述竖直插入式阻挡脚包括：支撑盘，所述支撑盘内沿其厚度方向设有通孔，所述通孔包括第一部分及位于所述第一部分下方且与所述第一部分相连通的第二部分；阻挡脚，适于插入至所述支撑盘的所述通孔内，所述阻挡脚包括支撑部及位于所述支撑部下方且与所述支撑部的底部相连接的阻挡部；所述支撑部的宽度大于所述通孔第二部分的宽度且小于或等于所述通孔第一部分的宽度；所述阻挡部的宽度小于或等于所述通孔第二部分的宽度，且所述阻挡部沿所述支撑盘厚度方向的尺寸大于所述通孔第二部分沿所述支撑盘厚度方向的高度。

作为本发明的竖直插入式阻挡脚的一种优选方案，所述通孔第一部分与所述通孔第二部分接触的表面为倾斜面，所述倾斜面自所述通孔第二部分的边缘至所述通孔第一部分的边缘向下倾斜。

作为本发明的竖直插入式阻挡脚的一种优选方案，所述倾斜面相对于所述支撑盘表面的倾斜角度为5°～8°。

作为本发明的竖直插入式阻挡脚的一种优选方案，所述阻挡部的侧面为弧形面。

作为本发明的竖直插入式阻挡脚的一种优选方案，所述弧形面的弧度与晶圆边缘的弧度相同。

作为本发明的竖直插入式阻挡脚的一种优选方案，所述阻挡脚还包括过渡连接部，所述过渡连接部位于所述支撑部与所述阻挡部之间，且所述阻挡部经由所述过渡连接部与所述支撑部相连接。