[发明专利]监视装置以及真空泵

说明书

本发明提供一种能够提高维护时期的推断精度的监视装置以及真空泵。监视装置(100)包括：推断部(105)，基于由基座温度传感器(6)随着时间检测出的多个基座温度(Tb)，推断出基座温度(Tb)达到作为阈值的规定温度(T2)的维护时期；以及显示部(104)及输出部(108)，输出基于推断出的所述时期的维护信息。

技术领域

本发明涉及一种监视装置以及真空泵。

背景技术

涡轮分子泵被用作各种半导体制造装置的排气泵，但若在蚀刻工序(etchingprocess)等中进行排气，则反应生成物会堆积在泵内部。特别是容易堆积于泵下游侧的气体流路，转子与定子之间的间隙越是被堆积物填埋，则越会堆积反应生成物，从而会产生各种故障。例如，转子粘着于定子而导致转子无法旋转，或转子叶片与定子侧接触而破损。针对如上所述的反应堆积物，在专利文献1所记载的发明中记载了如下方法，即，基于马达电流值的经时变化来预测泵内的堆积。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]国际专利公开第2013/161399号

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，对于专利文献1所记载的发明，因为基于马达电流值的变化来预测堆积物，所以若预先不了解气体种类则不准确，且难以进行长期的预测。例如，相对于使氩气作为蚀刻气体的稀释气体而流动的情况，在增加氙气的混合比而使其流动的情况下，热传导率低，转子温度容易上升。因此，在增加了混合比的情况下，考虑到转子蠕变寿命，必须减少气体流量。另一方面，即使气体种类不同，只要气体流量相同，则马达电流值不会大幅发生变化，因此，气体流量减少，马达电流值也会相应地减小。此种现象不仅适用于稀释气体，而且也适用于蚀刻气体，在将蚀刻气体从轻的氯系变更为重的溴系的情况下也相同。因此，在考虑了转子蠕变寿命的情况下，若预先无气体种类信息，则难以预测堆积。

而且，马达电流值会灵敏地对真空泵的运转状态作出响应，因此，像专利文献1的发明那样基于马达电流值来预测生成物堆积的方法存在预测精度下降的问题。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选实施方式的监视装置是真空泵的监视装置，所述真空泵包括：马达，相对于设置于泵基底部的定子而旋转驱动转子；加热部，对所述泵基底部进行加热；基座温度检测部，检测所述泵基底部的温度；转子温度检测部，检测相当于所述转子的温度的物理量即温度相当量；以及加热控制部，以使所述转子温度检测部的检测值处于规定目标值范围内的方式，控制所述加热部对于所述泵基底部的加热，所述监视装置包括：推断部，基于由所述基座温度检测部随着时间检测出的多个温度，推断出所述泵基底部的温度为规定温度以下的维护(maintenance)时期；以及输出部，输出基于推断出的所述维护时期的维护信息。

在更优选的实施方式中，所述真空泵具有检测所述转子的转速的转速检测部、与检测所述马达的马达电流值的电流检测部，且包括判定部，所述判定部基于所述转速的时间变化及所述马达电流值，判定所述真空泵是否处于气体流入状态，所述推断部在所述判定部判定为处于气体流入状态时，基于所述基座温度检测部所检测出的温度来进行推断。

在更优选的实施方式中，包括存储部，所述存储部对于由所述基座温度检测部随着时间检测出的多个温度，将包含温度与所述温度的检测时刻的各个数据集存储于数据存储区域，所述推断部基于所述存储部所存储的多个所述数据集来进行推断。

在更优选的实施方式中，包括数据处理部，所述数据处理部对于所述存储部所存储的所述数据集，对所述检测时刻更新的数据集添加更大的权重，所述推断部基于由所述数据处理部添加了所述权重的数据集来进行推断。

在更优选的实施方式中，所述数据处理部进行使所述存储部所存储的多个数据集的数量减少的平均化处理，并且使新的数据集存储于由所述平均化处理产生的所述数据存储区域的空闲区域。