[发明专利]监视装置以及真空泵

权利要求书

1.一种监视装置，其是真空泵的监视装置，其特征在于所述真空泵包括：

马达，相对于设置于泵基底部的定子而旋转驱动转子；

加热部，对所述泵基底部进行加热；

基座温度检测部，检测所述泵基底部的温度；

转子温度检测部，检测相当于所述转子的温度的物理量的温度相当量；以及

加热控制部，以使所述转子温度检测部的检测值处于规定目标值范围内的方式，控制所述加热部对于所述泵基底部的加热，

所述监视装置包括：

推断部，基于由所述基座温度检测部随着时间检测出的多个温度，推断出所述泵基底部的温度为规定温度以下的维护时期；以及

输出部，输出基于推断出的所述维护时期的维护信息；

所述真空泵具有检测所述转子的转速的转速检测部、与检测所述马达的马达电流值的电流检测部，且包括判定部，

所述判定部基于所述转速的时间变化及所述马达电流值，判定所述真空泵是否处于气体流入状态，

所述推断部在所述判定部判定为处于气体流入状态时，基于所述基座温度检测部所检测出的温度来进行推断。

2.一种监视装置，其是真空泵的监视装置，其特征在于所述真空泵包括：

马达，相对于设置于泵基底部的定子而旋转驱动转子；

加热部，对所述泵基底部进行加热；

基座温度检测部，检测所述泵基底部的温度；

转子温度检测部，检测相当于所述转子的温度的物理量的温度相当量；以及

加热控制部，以使所述转子温度检测部的检测值处于规定目标值范围内的方式，控制所述加热部对于所述泵基底部的加热，

所述监视装置包括：

推断部，基于由所述基座温度检测部随着时间检测出的多个温度，推断出所述泵基底部的温度为规定温度以下的维护时期；

输出部，输出基于推断出的所述维护时期的维护信息；以及

存储部，所述存储部对于由所述基座温度检测部随着时间检测出的多个温度，将包含温度与所述温度的检测时刻的各个数据集存储于数据存储区域，

所述推断部基于所述存储部所存储的多个所述数据集来进行推断。

3.根据权利要求2所述的监视装置，其特征在于：

包括数据处理部，所述数据处理部对于所述存储部所存储的所述数据集，对所述检测时刻更新的数据集添加更大的权重，

所述推断部基于由所述数据处理部添加了所述权重的数据集来进行推断。

4.根据权利要求3所述的监视装置，其特征在于：

所述数据处理部进行使所述存储部所存储的多个数据集的数量减少的平均化处理，并且使新的数据集存储于由所述平均化处理产生的所述数据存储区域的空闲区域。

5.一种真空泵，其特征在于包括：

马达，相对于设置于泵基底部的定子而旋转驱动转子；

加热部，对所述泵基底部进行加热；

基座温度检测部，检测所述泵基底部的温度；

转子温度检测部，检测相当于所述转子的温度的物理量的温度相当量；以及

根据权利要求1至4中任一项所述的监视装置。