[发明专利]旋转喷淋头及湿法蚀刻机

说明书

技术领域

本发明涉及一种液晶面板技术，特别是一种用于湿式蚀刻的旋转喷淋头及湿法蚀刻机。

背景技术

目前液晶面板制备中，湿法蚀刻普遍用垂直于玻璃前进方向进行摇摆的喷淋方式进行，此种方式容易产生蚀刻不均或色泽不均等问题；而且传统的摇摆喷淋方式所需的喷淋管道数量较多，一机台有三个蚀刻槽，每个蚀刻槽有54个喷洒头，一台机台总共喷洒头数量就有162个，导致用料成本较高；为了确保喷洒头喷洒状况正常不堵塞，还需花费更多的人力进行维护、点检。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明提供一种旋转喷淋头及湿法蚀刻机，使得可喷淋更加均匀而且降低用料成本。

本发明提供了一种旋转喷淋头，包括安装在旋转接头上的喷淋头本体，所述喷淋头本体包括至少N根沿旋转接头的径向分布的喷淋管，N≥3的正整数，喷淋管相对的一端相互连接并连通，旋转接头与喷淋管的连接处连接，在喷淋管的下端面上设有间距可调节的喷嘴，喷嘴与喷淋管的管腔13连通。

进一步地，所述喷淋管的下端管壁上设有沿喷淋管的轴向设置的滑槽，喷嘴设于滑槽中，实现喷嘴之间的间距可调节，所述喷嘴通过弹簧软管与喷淋管的管腔13连通。

进一步地，所述喷嘴上设有用于将其固定于滑槽上的锁紧机构。

进一步地，所述锁紧机构包括两片滑片，滑片上设有孔，其中一块滑片设于滑槽内，另一块滑片设于喷淋管的下端，两片滑片分别通过孔套在喷嘴上并夹在滑槽的两侧边缘上，两片滑片通过锁紧螺栓紧固与滑槽上。

进一步地，所述锁紧机构包括截面为工字形的滑块，滑块的相对两侧具有凹槽，凹槽套在滑槽的两侧边缘上，在凹槽与滑槽的两侧边缘相对的槽壁上设有具有弹性的弹片，弹片为弧形；在滑槽的两侧边缘的上下两侧表面上设有沿滑槽的轴向间隔设置的弧形坑，弹片分别置于弧形坑中，通过每侧上下两个弹片与滑槽相同一侧的边缘上的弧形坑接触，使滑块固定在滑槽上，所述喷嘴设于滑块上的通孔中。

进一步地，相邻两根喷淋管之间的夹角为360°/N。

进一步地，所述N＝3，相邻两根喷淋管2之间的夹角为120°。

进一步地，所述N＝4，相邻两根喷淋管2之间的夹角为90°。

进一步地，所述N＝6，相邻两根喷淋管2之间的夹角为60°。

本发明还提供了一种湿法蚀刻机，包括所述的旋转喷淋头。

本发明与现有技术相比，通过具有三根以上喷淋管组成的喷淋头本体，在喷淋管上设置可调节间距的喷嘴，解决了喷淋不均匀的问题导致的蚀刻过程中较易产生蚀刻不均或色泽不均(Mura)等问题，减少了喷淋管的数量，使用料成本得以降低。

附图说明

图1是本发明的仰视图；

图2是本发明第一种锁紧机构的剖视图一；

图3是本发明第一种锁紧机构的剖视图二；

图4是本发明使用示意图；

图5是本发明具有四根喷淋管的结构示意图；

图6是本发明具有六根喷淋管的结构示意图；

图7是本发明第二种锁紧机构的剖视图一；

图8是本发明第二种锁紧机构的剖视图二。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1所示，本发明的一种旋转喷淋头，包括安装在旋转接头上的喷淋头本体1，喷淋头本体1包括至少N根沿旋转接头的径向分布的喷淋管2，其中，N为≥3的正整数，此处，N＝3，三根喷淋管2相对的一端相互连接并连通，在三根喷淋管2的另一端上为封闭面。旋转接头的出液口(图中未示出)与三根喷淋管2的连接处连通，在喷淋管2的下端面上设有间距可调节的喷嘴3，喷嘴3沿喷淋管2的轴向间隔设置，相邻两个喷嘴3之间的间距可调节，从而满足不同尺寸的基板使用，喷嘴3与喷淋管2的管腔13连通，相邻两根喷淋管2之间的夹角为120°，旋转接头的进液口与湿法蚀刻机上的喷淋管连接。

本发明中，旋转接头可以为现有技术中驱动电机驱动设于喷淋头本体1上的转轴实现旋转，在此不做具体限定，旋转接头的转速还可以通过可编程逻辑控制器(PLC)进行控制。

如图2和图3所示，喷淋管2的下端管壁上设有沿喷淋管2的轴向设置的滑槽4，喷嘴3设于滑槽4中，实现了喷嘴3之间的间距可调节，喷嘴3通过弹簧软管7与喷淋管2的管腔13连通，从而实现了喷淋的作用，具体地，弹簧软管7与喷淋管2的管腔13之间以及弹簧软管7与喷嘴3之间通过管接头连接；