[发明专利]旋转喷淋头及湿法蚀刻机

权利要求书

1.一种旋转喷淋头，包括安装在旋转接头上的喷淋头本体(1)，其特征在于：所述喷淋头本体(1)包括至少N根沿旋转接头的径向分布的喷淋管(2)，N≥3的正整数，喷淋管(2)相对的一端相互连接并连通，旋转接头与喷淋管(2)的连接处连接，在喷淋管(2)的下端面上设有间距可调节的喷嘴(3)，喷嘴(3)与喷淋管(2)的管腔13连通。

2.根据权利要求1所述的旋转喷淋头，其特征在于：所述喷淋管(2)的下端管壁上设有沿喷淋管(2)的轴向设置的滑槽(4)，喷嘴(3)设于滑槽(4)中，实现喷嘴(3)之间的间距可调节，所述喷嘴(3)通过弹簧软管与喷淋管(2)的管腔13连通。

3.根据权利要求2所述的旋转喷淋头，其特征在于：所述喷嘴(3)上设有用于将其固定于滑槽(4)上的锁紧机构。

4.根据权利要求3所述的旋转喷淋头，其特征在于：所述锁紧机构包括两片滑片(5)，滑片(5)上设有孔，其中一块滑片(5)设于滑槽(4)内，另一块滑片(5)设于喷淋管(2)的下端位于滑槽(4)处，两片滑片(5)分别通过孔套在喷嘴(3)上并夹在滑槽(4)的两侧边缘上，两片滑片(5)通过锁紧螺栓(6)紧固与滑槽(4)上。

5.根据权利要求3所述的旋转喷淋头，其特征在于：所述锁紧机构包括截面为工字形的滑块(8)，滑块(8)的相对两侧具有凹槽(9)，凹槽(9)套在滑槽(4)的两侧边缘上，在凹槽(9)与滑槽(4)的两侧边缘相对的槽壁上设有具有弹性的弹片(10)，弹片(10)为弧形；在滑槽(4)的两侧边缘的上下两侧表面上设有沿滑槽(4)的轴向间隔设置的弧形坑(12)，弹片(10)分别置于弧形坑(12)中，通过每侧上下两个弹片(10)与滑槽(4)相同一侧的边缘上的弧形坑(12)接触，使滑块(8)固定在滑槽(4)上，所述喷嘴(3)设于滑块(8)上的通孔中。

6.根据权利要求4或5所述的旋转喷淋头，其特征在于：相邻两根喷淋管(2)之间的夹角为360°/N。

7.根据权利要求6所述的旋转喷淋头，其特征在于：所述N＝3，相邻两根喷淋管(2)之间的夹角为120°。

8.根据权利要求7所述的旋转喷淋头，其特征在于：所述N＝4，相邻两根喷淋管(2)之间的夹角为90°。

9.根据权利要求8所述的旋转喷淋头，其特征在于：所述N＝6，相邻两根喷淋管(2)之间的夹角为60°。

10.一种湿法蚀刻机，其特征在于：包括如权利要求1-9任意一项所述的旋转喷淋头。