[发明专利]一种标准单元漏电流的测试电路及测试方法有效
申请号: | 201710037926.1 | 申请日: | 2017-01-18 |
公开(公告)号: | CN108318727B | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 郭响妮;古力;鱼江华;张凤娟;陈志强 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | G01R19/00 | 分类号: | G01R19/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张振军;吴敏 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 标准 单元 漏电 测试 电路 方法 | ||
1.一种基于标准单元漏电流的测试电路的测试方法,所述标准单元漏电流的测试电路包括:多个驱动单元以及多个目标单元电路;
所述多个驱动单元串联于所述测试电路的输入端和输出端之间,每个所述驱动单元均用于挂载对应的目标单元电路;其中:所述驱动单元和所述目标单元电路均由所述标准单元组成,其特征在于,所述测试方法包括:
所述测试电路的输入端接入逻辑0时,测量所述测试电路的输出端的总漏电流值Iall1;
所述测试电路的输入端接入逻辑1时,测量所述测试电路的输出端的总漏电流值Iall2;
根据Iall1、Iall2、每个所述目标单元电路中的所述标准单元的数量M、每个所述驱动单元中所述标准单元的数量N,以及所述驱动单元的数量P计算每个所述标准单元的漏电流IX0以及IX1;其中,M、N、P均为自然数,IX0为所述标准单元输入逻辑0时的漏电流,IX1为所述标准单元输入逻辑1时的漏电流;
所述驱动单元为N个串联的反相器,所述目标单元电路为M个反相器,所述M个反相器的输入端共同连接至所述驱动单元的输入端,所述M个反相器的输出端悬空,其中,N为偶数;计算IX0以及IX1所依据的方程如下:
(N/2+M)*IX0+(N/2)*IX1=Iall1/P;
(N/2+M)*IX1+(N/2)*IX0=Iall2/P。
2.根据权利要求1所述的基于标准单元漏电流的测试电路的测试方法,所述驱动单元的总数量使得对所述测试电路进行测试时,所述测试电路输出的总的电流值为μA级别。
3.根据权利要求1所述的基于标准单元漏电流的测试电路的测试方法,其特征在于,所述驱动单元的漏电流小于所述目标单元电路的漏电流,所述测试方法还包括:
基于所述反相器的漏电流IX0以及IX1,计算所述驱动单元的漏电流;
基于所述驱动单元构建测量电路,以对所述反相器以外的其他标准单元进行漏电流的测量,所述其他标准单元包括以下任一种:与非门、或非门、三态门。
4.根据权利要求3所述的基于标准单元漏电流的测试电路的测试方法,其特征在于,所述构建测量电路包括:连接多个所述其他标准单元的输入端至每个所述驱动单元的输出端,悬空所述其他标准单元的输出端;
所述对所述反相器以外的其他标准单元进行漏电流的测量包括:
测量所述测量电路的输入为逻辑0时,所述测量电路中各个的驱动单元以及各个所述其他标准单元的总漏电流值Iall3;
测量所述测量电路的输入为逻辑1时,所述测量电路中各个的驱动单元以及各个所述其他标准单元的总漏电流值Iall4;
根据Iall3、Iall4、所述驱动单元的漏电流、所述驱动单元的数量、所述其他标准单元的总数量计算所述其他标准单元的漏电流。
5.根据权利要求3或4中任一项所述的基于标准单元漏电流的测试电路的测试方法,其特征在于,所述反相器为高阈值反相器。
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