[发明专利]侦测工具机的线性滑轨预压值变化的方法

权利要求书

1.一种侦测工具机的线性滑轨预压值变化的方法，由多个振动传感器及一个计算模块实施，该工具机包含至少一个线性滑轨及一个设置于该至少一个线性滑轨上的工作载台，所述振动传感器设置于该工作载台，其特征在于：该侦测工具机的线性滑轨预压值变化的方法包含以下步骤：

(a)每一个振动传感器在一个第一时点感测该工作载台的振动而产生一个对应该第一时点的第一振动信号；

(b)该计算模块根据至少一个相关于该工作载台的理论模态振型与所述第一振动信号计算出相关于该工作载台的至少一个第一自然频率，该计算模块利用一个操作模态分析法根据所述第一振动信号计算出相关于该工作载台的多个自然频率与多个分别对应所述自然频率的操作模态振型，并根据每一个操作模态振型与每一个理论模态振型的相似程度从所述自然频率中选出该至少一个第一自然频率；

(c)每一个振动传感器在一个第二时点感测该工作载台的振动而产生一个对应该第二时点的第二振动信号；

(d)该计算模块根据该至少一个理论模态振型与所述第二振动信号计算出相关于该工作载台的至少一个第二自然频率，该计算模块利用该操作模态分析法根据所述第二振动信号计算出相关于该工作载台的多个自然频率与多个分别对应所述自然频率的操作模态振型，并根据每一个操作模态振型与每一个理论模态振型的相似程度从所述自然频率中选出该至少一个第二自然频率；及

(e)该计算模块根据该至少一个第一自然频率与该至少一个第二自然频率判断该至少一个线性滑轨的预压值变化。

2.根据权利要求1所述的侦测工具机的线性滑轨预压值变化的方法，其特征在于：在该步骤(b)，该计算模块从所述自然频率中选出一个第一自然频率，其中该第一自然频率所对应的操作模态振型所对应的相似程度为所述相似程度中的最大者，且在该步骤(d)，该计算模块从所述自然频率中选出一个第二自然频率，其中该第二自然频率所对应的操作模态振型所对应的相似程度为所述相似程度中的最大者。

3.根据权利要求2所述的侦测工具机的线性滑轨预压值变化的方法，其特征在于：在该步骤(b)与该步骤(d)，该操作模态振型与该理论模态振型的相似程度对应该操作模态振型与该理论模态振型的一个模态确认指标值。

4.根据权利要求2所述的侦测工具机的线性滑轨预压值变化的方法，其特征在于：在该步骤(e)，当该第二自然频率小于该第一自然频率时，该计算模块判定该至少一个线性滑轨的预压值变小。

5.根据权利要求1所述的侦测工具机的线性滑轨预压值变化的方法，其特征在于：在该步骤(b)，该计算模块计算出一个第一自然频率，在该步骤(d)，该计算模块计算出一个第二自然频率，且在该步骤(e)，当该第二自然频率小于该第一自然频率时，该计算模块判定该线性滑轨的预压值变小。

6.根据权利要求4或5所述的侦测工具机的线性滑轨预压值变化的方法，其特征在于：在该步骤(e)，该至少一个线性滑轨的预压值的下降比率为由该第一自然频率下降至该第二自然频率的下降比率。