[发明专利]一种基板传送装置及方法

说明书

【技术领域】

本发明涉及移动显示器制造技术领域，特别涉及一种基板传送装置及方法。

【背景技术】

在TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)基板制作过程中，需要使用各种湿式机台进行清洗、刻蚀、显影等制程，这些湿式机台通常包含干式传送单元，药液单元，水洗单元，以及对玻璃基板干燥的AK(air knife，空气刀)单元等；在这些单元中，为了保证基板传送过程中不会因为水流、气流的变化而产生跳动，各单元基板前进方向的两侧固定距离均安装有double roller(双辊)和guide roller(导向轮)，以保证基板传送的稳定性，防止基板发生跳动或者方向偏移。

在实践中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

在实际使用过程中，容易发生double roller(双辊)或者Guide roller gap(导辊间隙)异常以及形变的问题，而gap(间隙)异常或形变容易造成破片发生，严重影响生产的顺利进行。另外，现有的机台使用过程中，因为基板本身带电，传送时与Roller(滚筒)摩擦带电，药液或者水与Nozzle(喷嘴)摩擦带电等问题，常常造成产品静电炸伤，严重影响产品良率。

故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种基板传送装置及方法，其能简化结构，降低异常发生概率；另外，能及时有效地传导基板上的静电，防止产品静电释放炸伤。

为解决上述问题，本发明的技术方案如下：

本发明实施例提供了一种基板传送装置，所述基板传送装置包括：

第一导轨，所述第一导轨接地，以释放静电；

第二导轨，所述第二导轨接地，以释放静电；

第一双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接；

第二双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接；

其中，所述第一导轨与所述第二导轨并排设置，利用所述第一双辊和所述第二双辊将基板固定传送。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述基板传送装置还包括：

第三双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接，且与所述第一双辊间隔设置；

第四双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接，且与所述第二双辊间隔设置；

其中，利用所述第三双辊和所述第四双辊将基板固定传送。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述基板传送装置还包括：

传送单元，所述基板位于所述传送单元上，用于传送所述基板。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、所述第四双辊分别位于所述基板的四个角边。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述第一双辊和所述第二双辊分别位于所述基板的对角边。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述基板传送装置还包括：

双辊控制单元，用于控制所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、以及所述第四双辊均与所述传送单元的传输速率同步。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述基板传送装置还包括：

传送控制单元，用于控制所述传送单元均与所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、以及所述第四双辊的传输速率同步。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述双辊控制单元与所述传送控制单元集成在同一模块中。

本发明实施例还提供了一种包括上面所述的基板传送装置的基板传送方法，包括以下步骤：

将基板放置在传送单元上；

对所述传送单元以及第一双辊和第二双辊进行通电；

向所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊输出控制指令；

根据所述控制指令，控制所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊以相同的传输速率同步传送。

进一步的，在所述基板传送方法中，所述基板传送方法，还包括：

对第三双辊和第四双辊进行通电；

向所述第三双辊和所述第四双辊输出所述控制指令；

根据所述控制指令，控制所述第三双辊和第四双辊与所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊以相同的传输速率同步传送。