[发明专利]一种基板传送装置及方法

权利要求书

1.一种基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置包括：

第一导轨，所述第一导轨接地，以释放静电；

第二导轨，所述第二导轨接地，以释放静电；

第一双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接；

第二双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接；

其中，所述第一导轨与所述第二导轨并排设置，利用所述第一双辊和所述第二双辊将基板固定传送。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置还包括：

第三双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接，且与所述第一双辊间隔设置；

第四双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接，且与所述第二双辊间隔设置；

其中，利用所述第三双辊和所述第四双辊将基板固定传送。

3.根据权利要求1或2所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置还包括：

传送单元，所述基板位于所述传送单元上，用于传送所述基板。

4.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、所述第四双辊分别位于所述基板的四个角边。

5.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一双辊和所述第二双辊分别位于所述基板的对角边。

6.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置还包括：

双辊控制单元，用于控制所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、以及所述第四双辊均与所述传送单元的传输速率同步。

7.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置还包括：

传送控制单元，用于控制所述传送单元均与所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、以及所述第四双辊的传输速率同步。

8.根据权利要求7所述的基板传送装置，其特征在于，所述双辊控制单元与所述传送控制单元集成在同一模块中。

9.一种包括权利要求1至8任一项所述的基板传送装置的基板传送方法，其特征在于，包括以下步骤：

将基板放置在传送单元上；

对所述传送单元以及第一双辊和第二双辊进行通电；

向所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊输出控制指令；

根据所述控制指令，控制所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊以相同的传输速率同步传送。

10.根据权利要求9所述的基板传送方法，其特征在于，所述基板传送方法，还包括：

对第三双辊和第四双辊进行通电；

向所述第三双辊和所述第四双辊输出所述控制指令；

根据所述控制指令，控制所述第三双辊和第四双辊与所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊以相同的传输速率同步传送。