[发明专利]一种阵列基板、显示面板及显示装置

权利要求书

1.一种阵列基板，包括半导体层，其特征在于，所述半导体层包括用于提高所述半导体层的电子迁移率的结构；所述用于提高所述半导体层的电子迁移率的结构，包括多晶硅层；所述半导体层还包括非晶硅层，所述非晶硅层包围所述多晶硅层；还包括导体层，所述导体层包括第一导体层和第二导体层，所述第一导体层位于所述半导体层之上，所述第二导体层位于所述第一导体层之上，所述第一导体层和所述第二导体层中的磷化氢含量不同；

所述非晶硅层包括第一非晶硅层和第二非晶硅层，所述第一非晶硅层与所述多晶硅层同层设置，且包围所述多晶硅层；所述第二非晶硅层仅位于所述第一非晶硅层之上；

还包括保护层，该保护层位于所述多晶硅层之上，且覆盖所述多晶硅层。

2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第二非晶硅层包括第一非晶硅子层和第二非晶硅子层，所述第一非晶硅子层位于所述多晶硅层之上，且覆盖所述多晶硅层，第二非晶硅子层位于所述第一非晶硅子层之上，其中，第一非晶硅子层和第二非晶硅子层中的氢含量不同。

3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述保护层为绝缘层。

4.一种显示面板，其特征在于，包括权利要求1至3任一权利要求所述的阵列基板。

5.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求4所述的显示面板。