[发明专利]一种酸性蚀刻液再生循环使用铜回收设备

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液再生循环使用铜回收设备，其特征在于：它包含膜电解槽(1)、阴阳极循环槽(2)、蚀刻液参数控制装置(3)、蚀刻生产线(4)、蚀刻废液收集缸(5)、蚀刻废液储罐(6)，膜电解槽(1)与阴阳极循环槽(2)连接，阴阳极循环槽(2)与蚀刻液参数控制装置(3)连接，蚀刻液参数控制装置(3)与蚀刻生产线(4)连接，蚀刻生产线(4)与蚀刻废液收集缸(5)连接，蚀刻废液收集缸(5)与蚀刻废液储罐(6)连接，蚀刻废液储罐(6)与膜电解槽(1)连接。

2.一种酸性蚀刻液再生循环使用铜回收设备，其特征在于：它的工作原理为：新鲜的蚀刻液通过蚀刻生产线(4)后进入到阴阳极循环槽(2)内，所述的阴阳极循环槽(2)分为阳极循环槽(2-1)和阴极循环槽(2-2)，阳极循环槽(2-1)上安装蚀刻液参数监控装置(3)，通过加入氧化剂、盐酸和水对再生蚀刻液参数进行调解，参数正常的再生蚀刻液用泵浦抽至蚀刻生产线循环使用，阴极循环槽(2-2)内安装有钛冷却管，由温控感应器自动控制阴极液温度，与膜电解槽(1)的阴极区构成一个循环，起保持温度恒定和使电解液铜离子浓度均匀作用；所述的蚀刻液参数控制装置(3)通过测试蚀刻液的氧化还原电位值、比重、酸度和温度来自动控制再生蚀刻液的药水参数；膜电解槽(1)分为阳极区和阴极区，其中阳极区内安装有涂层钛阳极板，以电催化涂层电极为阳极，以阳极与阳极液的电位差为反应驱动力，使阳极表面的一价亚铜络合离子氧化为二价铜络合离子，实现废蚀刻液的氧化再生；阴极区回收铜板、再生Cl^-和Cu²⁺浓度降低后的阴极液返回再生蚀刻液中降低铜离子浓度：在电化学势能推动下，在阴极板表面的一价亚铜络合离子还原为零价铜板和产生Cl^-，Cu²⁺浓度降低至40g/L左右的阴极液返回再生蚀刻液中，使比重下降至一定的范围，从而使酸性蚀刻废液的化学组成、氧化还原电位及比重等参数达到蚀刻线正常生产要求的控制范围，阴极板上析出具有商业价值的铜板，电解槽壁开孔安装废气排放管路，废气排放至废气吸收塔酸碱中和喷淋处理，所述的蚀刻废液储罐(6)用于储存酸性蚀刻废液。