[发明专利]石英管加热装置及石英管加热方法

说明书

一种石英管加热装置，包括：炉体，所述炉体上开设进料口和出料口；多个加热单元，所述多个加热单元设置在所述进料口与所述出料口之间，所述多个加热单元相互独立，形成沿进料口至出料口方向温度递增的多个不同区域，用于对石英管进行加热；其中，所述进料口用于供石英管进入炉体以穿入所述多个不同区域，所述出料口用于供石英管穿出所述多个不同区域后离开所述炉体。本发明还提供一种石英管加热方法，防止石英管熔融不充分而造成石英管延伸过程中生拉，从而防止形成的石英管的表面质量的缺陷，同时防止石英管的延伸部位热量控制精度差而导致的延伸后石英管直径波动大，并防止石英管的加热效率较低而导致的降低石英管的延伸效率。

技术领域

本发明涉及一种加热装置及加热方法，尤其涉及一种石英管加热装置及石英管加热方法。

背景技术

目前，石英管加热装置为石英加工工艺中重要的加工环节。传统的石英管加热装置采用单温区域对石英管进行加热，来将直径大的石英管延伸为直径小的石英管。但是，采用单温区域会导致如下问题：

1.既要为石英管的延伸提供足够的能量，保持石英管延伸部位的软化状态，同时，又要承担起对刚进入单温区域的石英管预热及升温，直到升温至可延伸温度，容易引起熔融不充分，造成石英管延伸过程中生拉，形成石英管的表面质量缺陷。

2.石英管的预热区域与延伸加热区域不分离，造成石英管的延伸部位热量控制精确差，导致延伸后石英管直径波动较大。

3.石英管的加热效率较低，降低了石英管的延伸效率，为了提高石英管的延伸效率，通过提高加热温度来提高加热效率，但是如此会造成加热单元电流过大、加热单元局部温度过高等不良影响，缩短了加热单元寿命。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种石英管加热装置及石英管加热方法，其通过使得石英管穿过多个温度不同的区域，实现提高石英管加工质量及延伸效率。

本申请的第一方面提供一种石英管加热装置，所述石英管加热装置包括：

炉体，所述炉体上开设进料口和出料口；

多个加热单元，所述多个加热单元设置在所述进料口与所述出料口之间，所述多个加热单元相互独立，形成沿进料口至出料口方向温度递增的多个不同区域，用于对石英管进行加热；

其中，所述进料口用于供石英管进入炉体以穿入所述多个不同区域，所述出料口用于供石英管穿出所述多个不同区域后离开所述炉体。

较佳的，所述多个不同区域包括至少一个准备区域及至少一个作业区域，所述至少一个作业区域的温度高于所述至少一个准备区域的温度，所述至少一个准备区域用于对石英管进行预热，所述至少一个作业区域用于对所述石英管进行作业。

较佳的，每个加热单元为电阻加热单元，每个加热单元包括电极及加热元件，每个电极包括分别与所述加热元件连接的进电端电极及出电端电极，所述加热元件位于所述进电端电极与所述出电端电极中间，所述加热元件用于对所述石英管加热；

或者每个加热单元为感应加热单元，每个加热单元包括感应线圈及加热桶。

较佳的，所述加热元件包括由多个串联的加热片组成的闭合结构。

较佳的，所述石英管加热装置还包括设在所述炉体内的第一隔热体，所述第一隔热体中空，所述第一隔热体部分收容所述多个加热单元，所述第一隔热体用于减少或防止所述加热元件所产生的热量传出所述石英管加热装置。

较佳的，所述多个加热元件收容于所述第一隔热体内，每个进电端电极及每个出电端电极皆包括延伸件，每个进电端电极的延伸件和每个出电端电极的延伸件穿过所述第一隔热体，并与所述加热元件电连接。