[发明专利]石英管加热装置及石英管加热方法

权利要求书

1.一种石英管加热装置，其特征在于，所述石英管加热装置包括：

炉体，所述炉体上开设进料口和出料口；

多个加热单元，所述多个加热单元设置在所述进料口与所述出料口之间，所述多个加热单元相互独立，形成沿进料口至出料口方向温度递增的多个不同区域，用于对石英管进行加热；

其中，所述进料口用于供石英管进入炉体以穿入所述多个不同区域，所述出料口用于供石英管穿出所述多个不同区域后离开所述炉体；

每个加热单元包括加热元件及电极，所述加热元件包括由多个串联的加热片组成的闭合结构及从对应的闭合结构的外表面凸出的两个凸耳，所述电极与所述凸耳电连接；

所述石英管加热装置包括设在所述炉体内的第一隔热体及设在所述第一隔热体内的第二隔热体，所述第一隔热体包括隔热罩及端盖，所述隔热罩两端开口，所述隔热罩的内壁上形成抵挡面，所述端盖部分遮挡所述隔热罩的开口，所述抵挡面及所述端盖共同限位所述第二隔热体于所述第一隔热体内；所述第二隔热体上形成有第二通槽，所述闭合结构收容于所述第二隔热体内且所述凸耳穿过所述第二通槽来使得所述闭合结构限位于所述第二隔热体内。

2.如权利要求1所述的石英管加热装置，其特征在于：所述多个不同区域包括至少一个准备区域及至少一个作业区域，所述至少一个作业区域的温度高于所述至少一个准备区域的温度，所述至少一个准备区域用于对石英管进行预热，所述至少一个作业区域用于对所述石英管进行作业。

3.如权利要求1所述的石英管加热装置，其特征在于：每个加热单元为电阻加热单元，每个电极包括分别与所述加热元件连接的进电端电极及出电端电极，所述加热元件位于所述进电端电极与所述出电端电极中间，所述加热元件用于对所述石英管加热。

4.如权利要求3所述的石英管加热装置，其特征在于：每个进电端电极及每个出电端电极皆包括延伸件，每个进电端电极的延伸件和每个出电端电极的延伸件穿过所述第一隔热体，并与所述加热元件电连接。

5.如权利要求4所述的石英管加热装置，其特征在于：每个进电端电极及每个出电端电极都还包括端头，每个端头从对应的延伸件的一端凸出，每个端头位于所述炉体外，且被卡持在所述炉体的侧壁上，每个进电端电极的延伸件及每个出电端电极的延伸件穿过所述炉体。

6.如权利要求5所述的石英管加热装置，其特征在于：每个进电端电极及每个出电端电极皆包括一连接件，所述连接件位于所述第二隔热体外，每个凸耳穿过所述第二隔热体至所述第二隔热体外，并与对应的连接件固定连接。

7.一种石英管加热方法，其特征在于，所述石英管加热方法应用于如权利要求1-6所述的石英管加热装置，所述石英管加热方法包括：

提供炉体；

提供多个加热单元，每个加热单元包括加热元件及电极，所述加热元件包括由多个串联的加热片组成的闭合结构及从对应的闭合结构的外表面凸出的两个凸耳，所述电极与所述凸耳电连接；

提供第一隔热体及第二隔热体，所述第一隔热体设在所述炉体内及所述第二隔热体设在所述第一隔热体内，所述第一隔热体包括隔热罩及端盖，所述隔热罩两端开口，所述隔热罩的内壁上形成抵挡面，所述端盖部分遮挡所述隔热罩的开口，所述抵挡面及所述端盖共同限位所述第二隔热体于所述第一隔热体内；所述第二隔热体上形成有第二通槽，所述闭合结构收容于所述第二隔热体内且所述凸耳穿过所述第二通槽来使得所述闭合结构限位于所述第二隔热体内；

将石英管从进料口进入所述炉体；

将所述石英管穿过所述多个加热单元形成的温度递增的多个不同区域。

8.如权利要求7所述的石英管加热方法，其特征在于：所述多个不同区域包括至少一个准备区域及至少一个作业区域，所述至少一个作业区域的温度高于所述至少一个准备区域的温度，所述至少一个准备区域对石英管进行预热，所述至少一个作业区域对所述石英管进行作业。