[发明专利]基于量块理念的梯度功能研抛盘的制备方法

权利要求书

1.一种基于量块理念的梯度功能研抛盘的制备方法，其特征在于：将研磨盘分割成多个一级环，并且将所有分割出的一级环分割成多个等级的二级环，所有的二级环形成具有多个弹性模量梯度的等级库，根据加工工件的加工要求，从等级库中取出相应等级的环组合形成具有梯度分布的研抛盘。

2.根据权利要求1所述的一种基于量块理念的梯度功能研抛盘的制备方法，其特征在于：所述的一级环或二级环均在加工前提前制备好，加工时根据加工工件的加工要求，确定研抛盘上弹性模量的分布，在对应的位置放置相应等级的环制成连续的具有梯度分布的研抛盘。

3.根据权利要求1所述的一种基于量块理念的梯度功能研抛盘的制备方法，其特征在于：任意一个环在径向上呈现出弹性模量的梯度分布。

4.根据权利要求1所述的一种基于量块理念的梯度功能研抛盘的制备方法，其特征在于：所有环的厚度均相等。

5.根据权利要求1所述的一种基于量块理念的梯度功能研抛盘的制备方法，其特征在于：所述等级库中每个一级环和二级环均设有不同弹性模量的多个，且所有单个二级环的弹性模量呈梯度式分布。

6.根据权利要求1所述的一种基于量块理念的梯度功能研抛盘的制备方法，其特征在于：所有的一级环的宽度相等。

7.根据权利要求1所述的一种基于量块理念的梯度功能研抛盘的制备方法，其特征在于：所有的二级环的宽度相等。

8.根据权利要求1所述的一种基于量块理念的梯度功能研抛盘的制备方法，其特征在于：每个二级环分割成多个宽度相等的三级环。