[发明专利]微型气压动力装置

权利要求书

1.一种微型气压动力装置，其特征在于，包括：

一微型流体控制装置，包括依序堆叠设置：

一进气板；

一共振片，具有一中空孔洞；

一压电致动器；

一集气板，具有一凹置表面、一基准表面、一第一贯穿孔及一第二贯穿孔，以及该凹置表面上凹置形成一集气腔室，该基准表面上凹置形成一第一卸压腔室及一第一出口腔室，该第一卸压腔室透过第一贯穿孔连通该集气腔室，该第一出口腔室透过第二贯穿孔连通该集气腔室；

其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，该压电致动器受驱动时，气体由该进气板进入，流经该共振片，以进入该第一腔室内再传输；

一微型阀门装置，设置定位于该微型流体控制装置的该集气板上，包括：

一阀门片，具有一第一表面、一第二表面以及一阀孔、该阀孔贯穿该第一表面及该第二表面，且该第一表面及该第二表面上分别设置有一粘贴区域及多个非粘贴区域；

一出口板，具有一基准表面及一第二表面，该第二表面上分别设置有一卸压通孔以及一出口通孔贯穿出口板的该基准表面，该基准表面上凹设有第二卸压腔室以及一第二出口腔室，该卸压通孔位于该第二卸压腔室中心部分，该出口通孔与该第二出口腔室连通，且于该第二卸压腔室与该第二出口腔室之间更具有一连通流道；

其中，该阀门片及该出口板依序堆叠组设于该集气板上，且该出口板面积小于该集气板面积，以使该出口板四边内缩与该集气板保持一封胶空间，以密封胶体涂于密封该封胶空间及完全密封该阀门片周缘，而该阀门片以该第一表面及该第二表面上的该粘贴区域粘贴组设定位于该出口板与该集气板之间，气体自该微型流体控制装置传输至该微型阀门装置内，以进行集压或卸压作业。

2.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该阀门片的该粘贴区域以双面胶贴附其上。

3.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该阀门片的多个非粘贴区域为一第一非粘贴区域及一第二非粘贴区域设置于该第一表面上，该第一非粘贴区域对应到该集气板的该第一出口腔室，外形型态与该第一出口腔室相同，且大致上等于该第一出口腔室的面积，该第二非粘贴区域对应到该集气板的该第一卸压腔室，外形型态与该第一卸压腔室相同，且大致上等于该第一卸压腔室的面积。

4.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该阀门片的多个非粘贴区域为一第三非粘贴区域及一第四非粘贴区域设置于该第二表面上，该第三非粘贴区域对应到该出口板的该第二卸压腔室，外形型态与该第二卸压腔室相同，且大致上等于该第二卸压腔室的面积，该第四非粘贴区域对应到该出口板的该第二出口腔室，外形型态与该第二出口腔室相同，且大致上等于该第二出口腔室的面积。

5.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该进气板具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及构成一汇流腔室的一中心凹部，该至少一进气孔供导入气体，该汇流排孔对应该进气孔，且引导该进气孔的气体汇流至该中心凹部所构成的该汇流腔室，以及该汇流腔室对应到该共振片的该中空孔洞。

6.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该压电致动器包括有：

一悬浮板，可由一中心部到一外周部弯曲振动；

一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；

至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，以提供弹性支撑；

一压电陶瓷板，具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板的一第一表面上，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。

7.权利要求6所述的微型气压动力装置，其特征在于，该悬浮板为正方形的型态。

8.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该第一出口腔室具有一凸部结构，该凸部结构的高度高于该集气板的该基准表面。

9.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该卸压通孔端部具有一凸部结构，该凸部结构的高度高于该出口板的该基准表面。

10.如权利要求1所述的微型气压动力装置，其特征在于，该出口板设置至少一限位结构于该第二卸压腔室内，辅助支撑该阀门片，以防止该阀门片塌陷。