[发明专利]利用变角度曝光制备复合周期的多级结构的方法及应用

权利要求书

1.利用变角度曝光制备复合周期的多级结构的方法，其特征在于，具体步骤如下：

(1)、激光光路搭建与调试；

首先，依据半反半透镜结合反射镜的分光方式搭建双光束干涉光路，使激光历经“扩束－等光程分束－聚焦干涉”的光路，并确保沿光路激光经过每个镜子的中心位置；然后，对光路进行调试，依次调节半反半透镜和反射镜的高度和与水平、竖直两个方向的夹角，直至分束后的两束光同时处于水平面内，且沿光屏法线左右对称入射至光屏，即令两束光入射角完全相等；

(2)、光刻胶准备；

首先，将衬底依次置于丙酮、乙醇和去离子水中进行超声清洗，所用时间为10-30min，并用氮气吹干待用；然后，将光刻胶旋涂至衬底，所用转速为1000-5000r/min，所用匀胶时间为10-20s，所得光刻胶平膜厚度为10-50μm；最后，将光刻胶平膜置于烘箱中进行前烘，所用温度为95-120℃，所用时间为30-120s；

(3)、变角度曝光制备多级结构；包括决定曝光角和按结构级别依次曝光；

首先，依据所需多级结构的第1级周期Λ₁和半反半透镜与光屏之间的距离Y，决定双光束干涉加工的曝光角2θ₁和对应的两个反光镜M₁和M₂的位置坐标X₁和X₂，其中，以半反半透镜中心为原点，并将两反光镜移动至相应位置；然后，用磁铁块将步骤(2)准备的光刻胶平膜固定在光屏中央，并调节光屏前后位置使两束光聚焦在光刻胶平膜上表面，且两束光光点会聚在平膜样品中心位置；随后，调节光阑使两束重叠的光斑扩至最大，并将激光锁模，对样品进行曝光；接着，依据具体的结构将样品在光屏上转过一个角度φ，同时按照所需多级结构的第2至第N级周期(Λ₂-Λ_N)分别决定对应的曝光角和二反光镜位置坐标，其中，N为整数，2≤N≤3，并作相应调节，依次对样品完成每级结构的曝光；最后，将曝光完毕的光刻胶平膜置于光刻胶专用显影液中进行显影，所用显影时间为2s-5min，最终获得所需具有复合周期的多级结构。

2.如权利要求1所述的利用变角度曝光制备复合周期的多级结构的方法，其特征在于，步骤(1)所述双光束干涉光路的光源为连续激光或脉冲激光，波长范围为紫外波段的266-355nm。

3.如权利要求1所述的利用变角度曝光制备复合周期的多级结构的方法，其特征在于，步骤(2)所述的衬底为盖玻片或硅片，所用光刻胶为BP212或SU－8紫外光刻胶。

4.如权利要求1所述的利用变角度曝光制备复合周期的多级结构的方法，其特征在于，步骤(3)所述变角度曝光是指按照多级结构依次改变两束光会聚在光屏上所夹的曝光角2θ并进行曝光，曝光角范围为2-80°；所用曝光角数值由多级结构中的每级周期所决定，具体依据公式其中θ角为对称入射到光屏上的两束光与法线夹角，λ为所用激光波长，Λ_i为多级结构中每一级的周期；光路中半反半透镜到光屏的距离Y为40-60cm；改变曝光角大小所调节的两个反射镜位置，M₁的位置坐标X₁为(-0.7)-(-50.3)cm，M₂的位置坐标X₂为0.6-30.2cm；每次曝光所用样品转动角φ为0-90°，所用曝光时间为0.5-2s，所用激光功率为20-50mW/cm²；多级结构周期为200nm－10μm，结构深度为50nm－2μm。

5.利用权利要求1所述的利用变角度曝光制备复合周期的多级结构的方法制备的复合周期的多级结构在色仿生和表面浸润性调控方面的应用。